大行程压电微动驱动控制系统的研究.pdfVIP

中文摘要 微驱动、定位技术是当今世界各国研究的热点问题，是纳米测量及加工技术 中的关键技术之一，而微位移致动器则是微驱动、定位系统中的重要组成部分。 压电陶瓷致动器是目前微位移技术中比较理想的驱动元件，它的出现开创了精度 进入纳米级的新时代。 本文中研究的课题是大行程压电微动台的驱动控制系统，其主要内容和创瓤 点包括： 1、论文系统地介绍了压电陶瓷的性能参数及压电元件等内容； 2、着重阐述了压电微动台的运动原理、总体机械结构设计、驱动控制系统 设计以及性能测试实验：结构设计方面，采用平台式结构，增强了其实 用性：变传统单驱动器为双驱动器结构，采用新颖的根据尺蠖运动 (Inchworm motion)原理改进的“推一拉”接力运动原理，配以适当的 四路驱动信号，使压电微动台实现连续平稳的运动。系统控制方面，通 过单片机系统产生四路信号，经直流放大器放大后加载到压电微动台。 控制程序采用C51软件编程，以中断方式实现波形控制。 3、对压电陶瓷驱动器电源的作用原理、设计特点及分类进行了介绍，并给 出了