宽量程微加速度感器的研制.pdf

摘 要 微机电系统(MEMS)是面向 21 世纪的高新科技，涉及到电子、机械、 材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，MEMS 在 21 世纪将成为最重要、最活跃的研究领域之一。而微加速度计是微机电系 统的一个很重要的方向，它广泛应用到惯性导航和制导、生物医疗、农业、 汽车工业、探矿测震、机器人、工业自动化、玩具等领域。本文设计了一种 以MEMS 技术为基础的电容式力平衡硅微加速度传感器，该传感器主要采 用SOI 和硅-玻璃键合技术制作，形成了玻璃-硅-玻璃的三明治结构。该传 感器能满足在大范围内加速度的变化测量。就此本文开展了以下主要研究工 作： 1、分析几种典型加速度传感器的原理，并比较其优缺点，结合现有实 验条件及课题宽量程的特点，提出电容式力平衡硅微加速度传感器。 2、对宽量程平衡式微加速度传感器的工作原理进行分析、研究，设计 传感器的结构，建立了数学的模型，确定使系统稳定必须满足的条件，对 系统安全必须满足的条件进行分析，根据提出的结构，从理论上对悬臂梁 的参数进行模拟分析选出合适的参数，并用Matlab 和Ansys 进行仿真，验 证所选参数的合理性，确定微加速度传感器的结构，并验