直流电弧等离子法制备si纳米粉末.pdf

摘要 厂、 蚋米粉末因其在光学、电学、磁学、力学等方面的性能，向人们展示出其巨 太的应用前景，尤其是由其制成的纳米材料，更是具有多种优异性能的功能材料， 譬广阔的市场潜力才笨文对纳米材料应用技术的现况和最新的研究进展进行了介 -绍，对纳米材料应用技术的未来进行了展望。 本文详细地介绍了Si纳米粉末独有的特殊性质以及它在微电子与计算机应 用方面的巨大潜力；对直流电弧等离子体法制各纳米粉末的机理进行了描述；并 由宏观下艺参数出发，以流体动力学理论为工具，对电弧等离子体制粉设备中的 沉积室内的气体流动情况进行了分析，建立了相应的数学模型；用数值计算的方 法对该模型进行了计算，得到了沉积室内空间各点的速度分布等微观参数；通过 分析沉积室内的流场情况以及Si纳米粉自身的一些性质，找出了宏观工艺参数与 微观参数之间的联系，了解到不同取粉部位的粉末的粒径有很大差异，(并与实验 结果进行了比较、验证，从而制定出合适的取粉部位，并对一些特殊现象进行了 解释。 通过多次实验，了解到等离子体制粉设备中的等离子枪能否得到足够