《多模式组合抛光技术在光学加工中的应用 Application of multi-mode combined polishing to optical manufacturing》.pdfVIP

第19卷第1期 光学精密工程 V01．19NO．1 andPrecision 2011年1月 Optics Engineering Jan．2011 文章编号1004—924X(2011)01—0041—10 多模式组合抛光技术在光学加工中的应用 宣 斌h2，谢京江1，宋淑梅1 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术 重点实验室，吉林长春130033；2．中国科学院研究生院，北京100039) 摘要：介绍了将经典抛光方法与数控加工技术有机结合的多模式组合抛光技术。描述了多模式组合抛光的关键技术之 一，材料去除率仿真模型的建立方法。通过设置抛光盘因子和元件因子，多模式组合抛光的材料去除模型不仅包含抛光 模式、速度等加工参数，还将抛光模形状、边角效应、元件面形误差等因素对材料去除的影响一并考虑人内，可以根据抛 光阶段的不同，选择不同的仿真精度。实验发现．多模式组合抛光可以显著提高加工效率，并且具有较好的对中频误差 的抑制和修正能力。多模式组合抛光目前的应用水平大致为球面、平面元件的面形误差达到20rim(rms)，非球面元件 的面形误差达到30～40nm(rms)左右。结果表明，多模式组合抛光在大口径元件的光学加工方面具有较强的适用性和 很大的发展空间。 关键词：光学加工；多模式组合抛光；非球面；材料去除 中图分类号：TQl71．684文献标识码：A doi：10．3788／OPE0041 ofmulti—modecombined to Application polishingoptical XUANBinl～。XIE Shu—mei Jing—jian91。SONG Advanced Institute (1．KeyLaboratoryofOpticalSystem ManufacturingTechnology。Changchunof and 130033，China； Optics，FineMechanicsPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun 2．Graduate Chinese 100039。China) Universityof Academyof Sciences，Beijing multi-modecombined basedontraditional andnumericalcontrol Abstract：The technology polishing polishing materialremoval methodswasintroduced．Thesimulationof rate，oneofthe ofthe polishing keyprocesses multi-modecombined describedin thefactorsof and polishing，was detail．Bysetting laps workpie