微执行器专题.pptVIP

静电直线马达: 下图时FUKUTA等人1997年发表的一种静电马达。驱动器70um长、50um宽、1um厚，弯头高1.5um。实验中使用±180V电压250Hz。静电直线马达是1987年由Gabriel等人最早提出的，后来不断改进，并获得应用。比如东京大学通口等人利用静电直线驱动原理来非接触搬动Si片。 内容: 热驱动器: 固体的热膨胀、双片式驱动器； 压电驱动器: 压电悬臂粱驱动器、压电叠片式驱动器、压电马达； 三 静电驱动器: 原理、悬臂粱式静电驱动器和静电旋转式微马达等. 微执行器工作原理 -----在英语词典里“驱动器”定义为 Actuator: one that actuates, specif: any of various electric hydraulic, or neumatic mechanism by means of which something is moved or controlled indirectly instead of by hand (as a motor that turns of a large ship or moves the elevators of an airplane or an airbrake cylinder operated by a motor man) 动词“驱动”是Actuate vt1: to put into mechanical action most of hydraulically operated items of equipment are actuated by pistons and cylinders 可见，所谓驱动指的是对任何物体产生机械动作。所谓驱动器指的是能产生驱动动作的器件或装置，即不是人类的手，而是间接动作或控制机器的电气、气体、液体的机构。 微驱动器(Micro Actuator)又称微致动器和微执行器，是能够产生和执行动作的一类微机械部件或机器的总称。而侠义的说，指的是能将电能装换成特定形式的机械能的微装置。 ------微驱动器的驱动原理 驱动功能的实现可以基于各种不同的物理原理。例如，利用静电力的驱动，利用反压电效应的驱动、利用磁致伸缩、形状记忆合金等。 ------微驱动器装置分类 从装置类型来看分为微转动马达、微直线运动马达、微夹持器、微泵、微阀门等；从物理性质来看微驱动器可以分为静电、压电、电磁、磁致伸缩、热、光电、气动、生物、超导和记忆合金等。 ------研究微驱动器的必要性 传统的手表及其它许多精密制造业虽然能够将机械零部件微型化到相当小的程度，但是多数传统加工方法已经达到极限，所以人们才不得不求助于特殊微加工方法来制造微驱动器。微驱动器大多是毫米级的，运动件属于微米级，利用微加工(IC工艺、体硅加工和LIGA)，微驱动器制作相对容易实现。 ------现状 与传感器一起成为MEMS和TRANDUCERS中主要的研究对象，可以参考的论文很多。 热驱动器 利用固体或液体尺寸随温度变化的特性的驱动元件叫做热驱动器。一个有趣的例子是Keller等人设计的热膨胀驱动的镊子(1997)，8x1.5x40um尺寸的镊子自由时是合起来的，当75mw能量输入是它可以张开35um。热驱动器分为电阻加热方式和和介电损失加热方式等。双片驱动器是利用粘在一起的二种材料的热胀系数不同来实现机械动作；而形状记忆合金（SMA）属于单片驱动器。 电阻加热式的加热器通常集成在二个功能材料片之间。这种结构的特点是位移-输入能量的关系线性好。缺点包括高功率投入、低频带和较复杂的结构(相对与静电驱动)。 介电损失式加热 大部分电介质在射频能量作用下都会有部分能量损失并转化为热能，这一特性可以用来非直接地给双片驱动器加热。介电损失正比于所加RF电场的平方(或正比于所加RF能量)，产生的热能用下式表达 此处f为激励频率、εr”相对介电常数、E0为电场强度。 压电悬臂粱驱动器 压电悬臂粱驱动器是利用一层(或双层)压电材料，在电场作用下沿与电场正交方向伸长或缩短，引起的悬粱弯曲的一种驱动元件。如下图，结构上与热驱动器相近，只是功能材料是压电材料而非热变形材料。 双压电驱动器的设计，要考虑到单端固支使用时的空载变位δ0, 最大发生力Fb，柔量sn和共振频率fm: 其中d31为横向压电常数；U为施加电压；C11D为压电材料的约束强度；ts为中心电极厚度；ρ为压电材料的密度。 积层型压电驱动器∶ 压电材料存在变位小、驱动电压高的缺点、因此除设计成双压电型驱动元件