毫米波mems关和mems移相器的研究.pdfVIP

硕士论文 毫米波岫s开关和岫6移相器的研究 摘 要 射频微电子机械系统(RF脏惦)技术在现代通信领域中越来越受到重视。开关是 射频电路中的重要元件，具有低插入损耗、高隔离度、低开启电压、高可靠性的RFMEMS 开关已经成为RFMEMs器件中的研究热点。基于ME惦开关的她Ms移相器具有频带宽、 损耗低、微型化、易于集成等特点，在射频电路，尤其是天线阵列的应用中具有广泛 前景。 本文以国防重点实验室基金项目——毫米波MEMS天线阵列基础技术研究中的毫 米波段MEMS开关和MEMS移相器为研究对象，从实际项目工程应用出发，分类介绍和 设计了两种MEMS开关和三种踮MS移相器。 毫米波MEMS开关部分介绍电容耦合型和金属接触型两种～iEMS开关，论述他们的 基本原理、技术指标、工艺流程及一般实现方法，并分别进行了设计仿真。以降低开 关的驱动电压为目标。提出了对于电容耦合型MEMS开关的悬梁改进的一些方案，并 在设计金属接触型MEMS开关时借鉴了他们。毫米波IdEMS移相器部分介绍了开关线型、 分布式和反射型三种MEM$移相器，论述了他们的基本原理以及设计时要考虑的种种 因素，导入设计好的开关模型进行设计仿真。 然后根据项目要求制各了金属接触型iHEMS开关和反射型跹淞移相器，其实测性 能与仿真性能相比基本一致，在某些测试数据上与仿真结果有一定误差，但已能满足 工程项耳应用的需要。 由于受到各方面条件的限制，论文对本课题的研究还不够深入，因此在论文最后 提出了课题进一步研究和发展的方向，为本课题的深入研究作了铺垫。 关键词：射频微电子机械系统，毫米波，开关，移相器 硕士论文 毫米渡旧6开关和蛇鹤移相嚣的研究 Abstract Inthe MEMS becomesmo佗andmoreattractive Nowadays，RFtechnology communicationfield．Switchisoneofthemost elementsinRF important circuit,studying RF actuationhas on MEMSswitch、析出low isolation，low in辨rtlon-loss．high voltage MEMS shitkrhas becomehot onMEMSswitch,thephase many topics．Based as broadband，IOW outstandingperformances，such RF in MEMSshiRerh够abrilliant in circuit phase pel-si)ec吐ve antenoa array． ThisthesistakesMEMSswitchandMEMS shifterof“Basic phase Technology on AntennawithMEMS”asaresearch setsout ResearchMillimeter-wave