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微陀螺仪 光学MEMS器件 定义 Optical Transducers，MOEMS, Optical MEMS 分类 传统的光传感器、转换器 光传感、成像、发光器件（光电子） 利用光进行传感的器件 位置传感器、光谱仪、DNA芯片 利用微机械加工方法形成的器件 传统器件的新生命 新型器件 传统的光传感器 光传感方式 成像系统(Imager) CCD CMOS 发光系统 LED 半导体激光器 等离子 生物发光 光调节器 发光器件 场发射（FEDs） 未来的显示设备(FPD) 新器件——组件 微镜 Mirror Support Structure Substrate Hinges Torsion Hinges 1st DOF 2nd DOF Force-redirecting Linkage 各种光学元器件 透镜、波带片、滤波器、光栅及各种致动机构 新器件——组件 微光学系统 微光学工作台（Micro Optical Bench） 微型显示阵列（光调制器） 数字镜面显示（DMD） 原理 改变反射方向 DMD——应用 DMD——应用 光开关 微机械1X4光开关 微机械1X8光开关  微机械2?2光开关 微机械2 ?2光开关 光开关 光纤固定结构 V形槽 各种卡紧结构 光栅及光栅光谱仪 原理 不同类型的光栅 新器件——组件 线性 马达 弧形梳齿 原理 应用 旋转马达 原理 美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机（液体气化方式）。微推进器由薄膜加热器、微型喷口等组成。其性能目标为：比冲75～125s，推力0.5mN，功率 5W，效率≥50%，质量为几克，大小为1cm2。 微推进器 美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机(固体升华方式)。微推进器由推进剂出贮箱、微阀、微过滤器、微型喷口等组成，微型喷口利用MEMS技术中的体硅工艺制作。其性能目标为：比冲50～75s，推力0.5mN，功率 2W/mN，质量为几克，大小为1cm2。 微推进器 引 言 信息系统微型化 系统体积大大减小 性能、可靠性大幅度上升 功耗和价格大幅度降低 信息系统的目标：微型化和集成化 微电子解决电子系统的微型化 非电子系统成为整个系统进一步缩小的关键 机械 传感 执行 部分 控制部分 电子学 MEMS 微电子学 微机电系统/微电子机械系统 Micro-Electro-Mechanical Systems 微机械：Micro-machine 微系统：Micro-System MEMS技术 从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微型机电系统 MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子、机械、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等 MEMS — 微小型、智能、集成、高可靠 MEMS是人类科技发展过程一次重大的技术整合 微电子技术、精密加工技术、传感器技术、执行器技术 微小型化、智能化、集成化、高可靠性 MEMS能够完成真正意义上的微小型系统集成 在芯片上实现了力、热、磁、化学到电的转变 MEMS极大地改善了人类生活的质量 大批量、低成本的传感器生产方式给人们更多的保护 MEMS将会带动一个充满活力的产业迅速成长 不是钢铁、汽车、微电子，而是微系统 A-公司生产的微加速度计MEMS芯片 MEMS在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景 微惯性传感器及微型惯性测量组合能应用于制导、卫星控制、汽车自动驾驶、汽车防撞气囊、汽车防抱死系统(ABS)、稳定控制和玩具 微流量系统和微分析仪可用于微推进、伤员救护 MEMS系统还可以用于医疗、高密度存储和显示、光谱分析、信息采集等等 大尺寸机电系统无法完成的任务，如尖端直径为5?m的微型镊子可以夹起一个红细胞，可以在磁场中飞行的象蝴蝶大小的飞机等 MEMS技术的应用 空间应用 用作运行参数测量的微加速度计已进行了地面辐照实验，正在进行飞行搭载实验 微陀螺、微推进和微喷管等微系统基础研究 通信方面 光通信正在向有光交换功能的全光通信网络方向发展 无线通信则要求增强功能（如联网等）和减小功耗。包括美国朗讯公司在内的一些公司和大学正在研究全光通信网用的微系统及无线通信用射频微系统 MEMS技术的应用 在生物医学方面，将光、机、电、液、生化等部件集成在一起，构成一个微型芯片实验室，用于临床医学检测，为医生甚至家庭提供简单、廉价、准确和快捷的检测手段 光显示、高密度存储、汽车、国防等微系统 MEMS技术的应用