机械制造技术 马国亮主编 2 第五章新.pptVIP

第二节　特 种 加 工 3)切割加工。4)焊接加工。5)超声清洗。五、电子束加工电子束加工原理如图5?10所示。电子枪2射出高速运动的电子束3经电磁透镜4聚焦后轰击工件8表面，在轰击处形成局部高温，使材料瞬时熔化、汽化，喷射去除。电磁透镜实质上只是一个通直流电流的多匝线圈，其作用与光学玻璃透镜相似，当线圈通过电流后形成磁场，利用磁场，可迫使电子束按照加工的需要作相应的偏转。六、离子束加工 第二节　特 种 加 工 离子束加工被认为是最有前途的超精密加工和微细加工方法。这种加工方法是利用氩（Ar）离子或其他带有10keV数量级动能的惰性气体离子在电场中加速，以其动能轰击工件表面而进行加工。图5?11所示为离子束加工示意图。惰性气体由入口3注入电离室，灼热的灯丝2发射电子，电子在阳极的吸引和电磁线圈的偏转作用下，作高速向下螺旋运动。惰性气体在高速电子撞击下被电离为离子。阳极9与阴极8各有数百个直径为0．3mm的小孔，上下位置对齐，形成数百条直的离子束5，均匀分布在直径为0．3mm的小圆直径上。调整加速电压，可以得到不同速度的离子束，实施不同的加工。 第二节　特 种 加 工 图5-10　电子束加工原理示意图1—高速加压　2—电子枪　3—电子束　4—电磁透镜5—偏转器　6—反射镜　7—加工室　8—工件9—工作台及驱动系统　10—窗口　11—观察系统 第二节　特 种 加 工 图