机械制造技术 任家隆 第10章 机械制造技术的展望新.pptVIP

10.2　精密加工和超精密加工 图10-14　液体动力抛光 4.微细加工技术 10.2　精密加工和超精密加工 (1)微细加工及其特点　微细加工起源于半导体制造工艺，原来是指制造微小尺寸零件的生产加工技术，其加工尺度约在微米级范围。(2)微细加工方法　微细加工方法和精密加工方法一样，也可分为切削加工、磨料加工、特种加工和复合加工，大多数方法是共同的。 10.2　精密加工和超精密加工 表10-2　常用的微细加工方法 分类 加工方法 精度／μm 表面粗糙度Ra值／μm 可加工材料 应 用 范 围 分离加工 切削加工 　等离子体切割　微细切削　微细钻削 1～0．120～10 0．05～0．0080．2 　各种材料　有色金属及其合金　低碳钢、铜、铝 　熔断钼、钨等高熔点材料，合金钢，硬质合金　球、磁盘、反射镜、多面棱体　钟表底板、液压泵喷嘴、化纤喷丝头、印制电路板 10.2　精密加工和超精密加工 表10-2　常用的微细加工方法 分类 加工方法 精度／μm 表面粗糙度Ra值／μm 可加工材料 应 用 范 围 10.2　精密加工和超精密加工 表10-2　常用的微细加工方法 分 离 加 工 磨料加工 　微细磨削　研磨　抛光　砂带研抛　弹性发射加工　喷射加工 5～0．51～0．1l～0．11～0．10．1～0．00155 0．05～0．0080．02