三维扫描微动平设计与研制.pdfVIP

三维扫描微动平台设计与研制 摘要 随着科技的进步，通信工程、精密工程等领域的快速发展，高 精度、高分辨率、高可靠性的精密定位系统的研究越来越受到重视， 发展也越来越快。国外对这一技术领域研究较早，成果显著，而我 国相对起步较晚，技术相对落后。本文搜集了大量相关资料，对国 内外的高精度运动平台的原理及特点进行了总结和分析。设计并研 制了一套用于三维轮廓扫描仪的高精度三维扫描微动平台，详细介 绍了平台硬件部分的方案设计与搭建过程。分析了三维轮廓扫描仪 的功能需求，设计并编写了三维扫描微动平台的控制软件，软件中 的核心功能是在平移台运动过程中以光学传感器逐行采集的数据 分析得到被测物体表面的三维形貌。在编写控制软件的过程中，结 合软、硬件完成了平台硬件对应的各项功能，其中包括对于光学传 感器、运动平台和摄像头的基本控制功能，以及结合各部分硬件功 能进行自动扫描的扫描功能。在对控制软件进行测试的过程中检验 了光学传感器和运动平台的性能，理论分析了运动平台的定位精度 及零点定位精度，用三维扫描得到的图像和显微镜下的图像作对 比，分析二者差异并对扫描程序做出修正，系统归纳了扫描功能由 简单逐层深化的过程，并记录了各个过程对同一样品进