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微波等离子体中甲烷偶联的研究 摘要 本文利用矩形波导微波化学反应系统，对微波等离子体作用下，甲烷及甲烷 和氢气的混合气体产生等离子体进行研究，具体分析了气体压强、微波功率及气 体比例对反应产物的影响，以及生成乙炔的能量产率和时空产率。利用基于有限 元方法的HFSS软件设计了满足实验要求的高功率微波可变衰减器；提出了一种 非接触式测量等离子体的相对介电常数的方法，即通过实验测量结合HFSS软件 仿真技术来确定等离子体的等效相对介电常数；在实验中发现微波等离子体甲烷 偶联时乙炔收率远高于传统热力学平衡收率理论值，由于在微波等离子体系统中 存在着非膨胀功，而热力学平衡收率的推导前提是忽略了非膨胀功。 第一章在广泛调查基础上，论述了微波等离子体条件下，甲烷偶联反应的发 展状况，阐述了前人研究的困难和不足，概述了本文的主要内容及在微波等离子 体条件中甲烷偶联的研究方面所做的创新性工作。 第二章根据实验要求设计了一套基于矩形波导的微波化学反应系统。利用 HFSS软件设计了高功率微波可变衰减器，制成的衰减器的衰减量和电压驻波比 基本符合实验要求。 第三章提出了一种非接触式测量等离子体的相对介电常数的方法，即通过实 验测量结合HFSS软件仿真技术来确定等离子体的等效相对介电常数