柔性衬底单壁碳米管随机网络场效应晶体管的研究.pdfVIP

柔性衬底单壁碳纳米管随机网络场效应晶体管研究 摘要 碳纳米管具有独特的电学和机械特性，使其在纳米电子学领域拥有广 泛的应用前景。本文阐述了碳纳米管的结构和性能，对单壁碳纳米管进行 分散处理，制备出以碳纳米管随机网络作为导电沟道的场效应器件，并对 器件的电学性能进行测试分析。最后简要分析了基于柔性衬底的单壁碳纳 米管随机网络场效应晶体管的电学性能，并与普通基底的场效应晶体管进 行比较。 本文首先利用超声分散法获得不同超声时间的乙醇和碳纳米管混合 液，再分别使用直接滴定法和竖直旋转提拉法将碳纳米管转移至预先形成 底栅电极的基底上。系统的分析研究分散工艺参数以及提取方法，获得较 好的分散条件。结果表明，该分散工艺制备的碳纳米管随机网络薄膜团聚 较少，分散情况良好。其次，基于制备碳纳米管场效应晶体管的工艺流程， 设计制备适合的光刻掩膜板。接着，分别采用光刻法和荫罩式电子束蒸发 技术制备出基于单壁碳纳米管随机网络的场效应器件。对制备出的场效应 器件的电学性能进行测试分析，结果表明，该器件是p沟道场效应晶体管， 碳纳米管随机网络作为导电沟道，其电导随着栅极电压的增加(减小)而 相应的减小(增加)。随后，在300℃条件下对器件退火处理十分钟，器件 的电学性能得到