电泳沉积法制备米晶金刚石场发射阴极研究.pdfVIP

摘要 一体，具有很大的潜力，有望成为下一代显示器件的主流。以金刚石作为场发射阴极发 射体的FED在诸多方面都有着巨大的优势，金刚石场发射阴极的研究是目前FED领域重 点开发的方向之一。 本论文以探索性能优良、工艺简单、适合大面积制作的场发射显示器阴极的制备方 法为目的，设计了钛基纳米晶金刚石沉积层场发射阴极。通过电泳液配制．电泳沉积一热 处理键合．氢等离子体表面处理的工艺流程，制备出Ti．TiC．C网络状层次结构的场发射 阴极样品。 通过正交实验，综合研究了纳米晶金刚石沉积层场发射阴极制备工艺中各参数的取 值对阴极样品场发射性能的影响，结合对样品表面形貌的微观分析及样品的模拟显示器 发光效果，筛选出了阴极样品制备的优化工艺参数。为进一步提升阴极样品的场发射性 能，采用氢等离子体处理工艺对样品进行了表面处理，并优化了氢处理工艺参数。 论文进一步研究了温度和真空度对阴极样品场发射性能的影响，得到样品相对稳定 工作时的温度和真空度范围，为进一步改善阴极的场发射性能、拓宽器件极限工作条件 提供了重要的数据。 等微观分析方法对样品的成分、结构及表面形貌等进行了分析表征，结合样品的场发射 性能，深入剖析了不同工艺条件下制备的样品之间性能差异的内在原因，为提升和改善 纳米晶