在线式微波功率感器的封装研究.pdfVIP

摘要 微波功率计广泛用于测量微波发射机／接收机的输出／输入功率、信号源的输出电平以及接收机 本地振荡器的电平、天线系统辐射的功率、振荡器的输出功率、交流信号电压的均方根值以及标准 交直流、毫瓦计、标准信号发生器的校准等，在国防、通讯、科研等领域有着光明的前景。最近几 年，随着无线通信领域的快速发展，产业界对于无线通信设备高度集成化的需求非常强烈。这样的 需求客观上刺激了微波器件向高度集成化、小型化的方向发展。随着RFMEMS技术的快速发展， 把微波功率传感器通过标准的GaAsMMIC工艺制备出来已经不再是梦想。采用RFMEMS技术实 现的微波功率传感器能嵌入到微波和毫米波单片集成电路当中，从而实现对微波功率的在线检测。 这样，不仅大大提高了集成度，还能充分利用被检测的微波信号。同时，利用RFMEMS技术制备 的微波器件都是无源器件，无需消耗直流功率，在相同条件下可以显著提高系统的工作时间。 微系统产业的很多研究、开发人员都把包括组装和测试在内的封装视为产品成功商业化的唯一 最亟待解决的关键问题。封装实质上也是影响市场上各种RFMEMS和微系统产品总生产成本的主 要因素。本文针对一种高灵敏度、宽频率范围、低的插入损耗和反射损耗、高线性度并可以转换工 作状态的在线式微波功率传感器