微机械电容式传器及其相关特性研究.pdfVIP

用体硅微机械工艺制作的梳齿电容式传感器有制作工艺简单、温度系数小、稳定 性好、阻尼系数容易控制等优点，因而应用广泛。 为了检测电容式传感器的微小电容变化，采用某种形式的偏置交流信号是常用的 方法。前人在研究外界加速度信号对传感器的作用时，假定驱动信号产生的静电力作 用在平行梳齿电容极板上，但是，在用DRIE工艺对硅进行刻蚀时会产生侧蚀效应， 从而得到的梳齿电容有一定的倾斜角度。本文深入研究了梳齿小角度倾斜的电容式传 感器，不同驱动电容配置下受到脉冲加速度信号和阶跃加速度信号作用时的响应特 性，得到了在不同驱动电容配置，不同倾斜角度情形下的临界脉冲可持续时间和最大 阶跃加速度信号随驱动电压的变化曲线。分析了电容式传感器梳齿的倾斜对传感器电 容、灵敏度、静电力和静电弹簧常数的影响。传感器所能承受的对应不同倾斜角度的 最大脉冲加速度或最大阶跃加速度可以通过文中建立的分析模型得到，这对梳齿电容 式传感器的设计可以提供参考。用有限元工具ANSYS中的电场模块，分析了倾斜电 容极板的电场边缘效应。分析了文中所用的电容和静电力模型的计算值和模拟值间的 误差。采用不同的DRIE工艺参数，并采用结构保护措施，实验研究了减小电容极板 倾斜角度的工艺方法。 前人在研究驱动信号对传感器的静电力效应时，用偏置电压极性为正一负配置的 驱动信号进行研究。