新型硅麦克风的计与分析.pdfVIP

摘 要 微电子机械系统（Micro Electro Mechanical systems ，简称MEMS ）是由微传感器、 微执行器、控制电路、接口电路和电源等部件组成，它的发展将会对人类的科学技术、 生产方式和生活方式产生深远的影响。在如今社会里，大多数消费类电子产品都沿着小 型化、智能化、集成化的方向发展，而MEMS 正好顺应了这一市场需求，它们对消费 类电子产品的最终影响不仅是尺寸质量的减小，更降低了生产成本，提高了工作性能。 硅麦克风，作为微电子机械系统中的重要成员。它集成了MEMS 的主要优点，面 积可以达到1mm*1mm 甚至更小， 然而最为主要的是它和集成电路有着相似的工艺流 程，国外已经有厂家，比方说德国英飞凌公司，利用集成电路工艺实现了传感器部分和 外围电路部分的集成，达到整个系统的微型化。 本文主要是对电容式硅麦克风进行分析、设计与制作，因为它有着比其它硅麦克风 有着更高的灵敏度、更简单的机械结构。我们主要完成一下几个方面的工作： (1)设计完整的电容式硅麦克风类比电路模型，对其PSPICE 仿真得到频谱在10kHz 以下基本平坦，频率在1kHz 时，输出电压为5.4244mV ，在44.008kHz 有谐振点；