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阴极制备设备电控系统使用说明书 沈阳世昂真空技术有限公司 第一章 概述 一 系统构成 该电控系统是为阴极制备设备控制而设计的一套专门系统,它主要包括总控电源（附带加热控温电源）、分子泵电源、离子泵电源、升华泵电源和复合真空计。上述所有电源已安装在工作台上。 二 主要功能和指标 1 总控电源 为系统所有用电设备供电以及对机械泵和升降机等的控制。说明： （1）升降机的上升和下降互锁，即上升下降不会同时工作； （2）机械泵与分子泵联锁，即必须在机械泵启动后分子泵方可启动。 2 加热控温电源 对烘箱进行加热控温，并具有超温报警保护和声音提示。其主要指标如下： （1）—400℃； （2）测温精度：±0.1℃。 3 配套分子泵，离子泵及复合真空计都有相应说明书。 第二章 安装 一 供电要求:相380V（50Hz）工业动力电，总功率小于KW。供电要求“总控电源 电压：3相380V（50Hz） KVA 要求：由3P32A 空气开关供电，连接电缆采用四芯橡套：mm2×3＋.5 mm2×1 （厂方已配） 二 安装 1 工作台接线 工作台内部线已有厂方人员接好，只需按照线两端标号对应接好即可，切勿接错，以免短路，甚至损坏设备。 2 系统接地线 将工作台后的接地端与实验室专用地线接地点牢靠接好。 注：地线必须接，而且要接牢靠 第三章