《第四章 电容传感器》.pptVIP

第四章 电容传感器 第一节 工作原理与类型 第二节 转换（测量）电路 第三节 电容式传感器的误差分析 第四节 电容式传感器的应用 第五节 电容式集成传感器 电容传感器 优点： ? 测量范围大，相对变化量可大于100％; ? 灵敏度高，分辨率高； 动态响应时间短； 机械损失小； 结构简单，适应性强，可非接触测量。 缺点： 寄生电容影响较大，降低了测量灵敏度； 与传感器联接的线路较复杂。 第一节 工作原理与类型 一、工作原理 两个金属板间的电容为 电容传感器的结构形式 1. 变极距（δ）型电容传感器 1. 变极距（δ）型电容传感器 1. 变极距（δ）型电容传感器 由上面两式知，δ0减少可使灵敏度K增大，但非线性误差也增大。因此常采用差动式结构，以提高灵敏度，减少非线性误差。 差动变极距（δ）型电容传感器 2.变面积（S）型电容传感器 ⑴.角位移式 ⑵.直线位移式 ⑶.圆柱形 3.变介电常数(ε)型电容传感器 ⑴.电容液位计 ⑵.用于测量厚度或介电常数的变介质传感器 第二节 转换（测量）电路 一、测量电桥 1、单臂桥 2. 差动桥 （1）初态时：两传感器电容C1=C2=C0， △ C1=△ C2=△ C=0， （1）初态时：两传感器电容C1=C2=C，此时电桥空载输出，即电桥处于平衡状态。 （2）工作时 ： 电桥