非球面聚焦透镜数控加工技术研究.pdfVIP

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ! ! !# $%’! (%’!# ! ! ! 年 月 ! )##* !# +,-+ ./012 34512 4(6 .427,831 914:5 /;’)##* ! ! 文章编号! # !##!=*)))##* !#=#?!=# 非球面聚焦透镜数控加工技术研究 ! ! ) ) ) ) 王 健 ! 鄢定尧 ! 李 洁 ! 许 乔 ! ! ! ! ! ! 四川大学光电科学技术系!四川成都 $ 成都精密光学工程研究中心!四川成都 # !! @!##@ )! @!##! 摘 要! 国内现有的高功率固体激光装置所使用的非球面聚焦透镜都是用传统方式手工加工而成的!由 !! ! ! 于手工加工方式的加工精度和进度对人的依赖性很大!势必影响大批量制造时的工程进度%而采用新兴的小 磨头数控加工技术则可以避免这些缺点%介绍了首次将小磨头数控加工技术用于非球面聚焦透镜的加工!对 其中各项技术!包括典型靶镜参数机床控制方式加工运动方式实验使用参数检测方式进行了分析!并得到 了预期的实验结果% 关键词! 小磨头数控抛光$ 非球面$ 透镜 !! ! ! ! 中图分类号! 文献标识码! 7()) 4 !! !!!! 国内现有的高功率固体激光装置所使用的非球面聚焦透镜都是用传统方式手工加工而成的%通常聚焦透 !! 镜的一面是非球面!另一面是平面或球面%加工精度要求一般为弥散源 !其作用是将平行光汇 #’#! #’#)AA ! 聚到一个点上% 由于采用手工的加工方式!加工的精度和进度对人的依赖性很大!这势必影响大批量制造时的 工程进度和加工质量的稳定性%而采用新兴的小磨头数控加工技术则可以避免这些缺点%现在国内已有采用 数控小磨头加工平面和反射式非球面的研究!但用于加工透射式的非球面聚焦透镜在此之前还没有尝试%本 文介绍将小磨头数控加工技术用于非球面聚焦透镜加工中的各项技术和实验情况% 数控光学加工技术简介 ! 数控小磨头抛光技术 ! #是采用小磨头对工件表面局部误差进 88/5 ;%A CDE;%FE%DG% H;IJCEKI;HF !! B B L ’ (