厂务系统概述.ppt

整廠系統 * 廠務系統概述 莊士正 1.廠務系統功能 1.1 水系統在製程中的功能 PCW 製程冷卻水 製程機台冷卻 UPW/DIW 超純水 補水/清洗/稀釋 Chill Water 冰水 冷卻用冷源/空調用冰水 RW 回收水 DI回收/冷凝回收/再生使用 CW 自來水 原水/一般用水 1.2 氣體系統在製程中的功能 CDA 壓縮乾燥空氣 搬運器/儀器之氣壓缸/一般沖吹 GN2 一般氮氣 Purge/CDA Backup/潔淨沖吹 PN2 純化氮氣 Purge/空間填充/超潔淨沖吹 其他B-GAS 大宗氣體 製程需求/Purge/空間填充/超潔淨沖吹 S-GAS 特殊氣體 製程Chamber填充需求/乾蝕刻製程需求 1.3 化學系統在製程中的功能 Chemical 化學藥品 清潔清洗/濕式蝕刻製程需求 1.4 真空系統在製程中的功能 PV 製程真空 基板吸引般移 HV 清潔真空 塵屑吸引清潔/真空吸筆 Pump Line 製程高真空 Chamber製程轉換之高真空建立 Exhaust 排氣系統 Chamber製程轉換之廢氣排除 Drain 排水系統 機台製程使用之廢DI/Chemical排放 1.5 排氣/排水系統在製程中的功能 2.廠務系統使用材質 2.1 水系統使用材質 PCW 製程冷卻水 SUS 304禁油處理/高壓軟管 UPW/DIW 超純水 CPVC/PVDF/PFA Tube Chill Water 冰水 SUS 304 RW 回收水 SUS 304 CW 自來水 SUS 304 CDA 壓縮乾燥空氣 SUS 304L AP/BA/316L BA GN2 一般氮氣 SUS 316L BA/EP PN2 純化氮氣 SUS 316L EP 其他B-GAS 大宗氣體 SUS 316L EP/PH2有時用雙套管(EP/AP) S-GAS 特殊氣體 SUS 316L EP/雙套管/加熱套 2.2 氣體系統使用材質-(除特氣外機台端都可能用Teflon軟管) 2.3 化學系統使用材質 有機類 化學藥品 例如溶劑類→SUS 316 BA 一般酸鹼 化學藥品 例如H2SO4/NaOH→PVC/CPVC 其他 化學藥品 CPVC/PFA/PVDF/PTFE 2.4 真空系統使用材質 PV 製程真空 PVC SCH80/SUS 304 HV 清潔真空 PVC SCH80/SUS 304 Pump Line 製程高真空 SUS 316 BA/EP GEX 一般排氣 鍍鋅螺旋風管 2.5 排氣系統使用材質 Solvent 有機排氣 SUS 304全焊式不銹鋼風管 Acid/Ak 酸鹼排氣 不銹鋼Teflon Coating風管(Tefpass) 2.6 排水系統使用材質 Drain 一般排水 PVC/PVC SCH80 Solvent 有機排氣水 SUS 304不銹鋼管 Acid/Ak 酸鹼排氣水 PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA 3.廠務系統流程 3.1 製程冷卻水系統簡略流程 原水補水 膨脹水箱 冰水出 冰水進 板 熱 製程管線 機台冷卻 進水 回水 3.2 冰水系統簡略流程 冷卻水塔 MAU 冰水出 冰水回 大 氣 冰水主機 冷媒循環 RCU AHU 其他空調箱 DCC 板 熱 冷卻水 3.3 純水系統簡略流程 City Water 自來水 DM Filter 去除鈣鎂 Decarbonator 去除CO2 WA Tower 去除碳酸鈣 SA Tower 去除碳酸鈣 RO Tank RO進水槽 Heat Exchange 熱交換器 UV Sterilizer 紫外線殺菌 Safety Filter 過濾器 RO Unit 逆滲透膜 Permeate Pit 逆滲透底槽 Mixed Bed 去除SiO2 Membrane Degasifier 去除O2 UPW Tank 純水儲槽 Cooler 冷卻器 UV Oxidizer 破壞有機鏈 UF Unit 超限過濾膜 H2 UPW Tank 純水儲槽 H2 Cooler H2冷卻器 H2 M.D. H2去除膜 H2 Desolve Membrane H2除溶膜 H2W UF Unit 超限過濾膜 P.O.U 使用點 回水 回水 3.4 自來水/回收水系統簡略流程 自來水外管 水表/隔離閥 供應管線 使用點 自來水 空氣中水份 冷盤/空調箱 回收管線 回收水槽 回收水 使用點