具有原位力学测试与长度计量功能的AFM测头的研究.pdfVIP

摘 要 纳米压/划痕仪、原子力显微镜(Atomic Force Microscopy，AFM)等是实现纳 米力学测试的有力工具。纳米压/划痕仪对样品加载卸载完成后，常借助扫描探 针显微镜(Scanning Probe Microscopy，SPM)实现测试点的扫描成像，所以没有原 位测试功能。AFM 探针的驱动单元和位移检测单元是其核心组成部分，在一定 程度上决定了 AFM 的性能。商用 AFM(Dimension Edge AFM 除外)没有位移计量 功能，探针位移进给值通过压电陶瓷的电压值推算得到，不能保证准确性。 本论文研制了一款具有原位力学测试和长度计量功能的 AFM 测头，采用电 容传感器作为位移计量传感器实现探针位移的准确测量。力学测试完成后，无需 移动样品，测头即可对测试点进行原位扫描成像。测头由压电陶瓷与柔性铰链相 结合的精密驱动单元、环形电容传感器的位移检测单元和光学系统组成。测头可 实现探针的最大位移进给量为 3μm ，分辨力优于 10nm ，测头可以很好地满足高 准确度的原位纳米力学测试需求。 本论文的主要工作包括： 1.分析了纳米压痕仪、原子力显微镜、扫描电镜等常用纳米力学测试仪器优 点和不足，针对它们的不足，提出了一种具有原位测试和长度计量功能的 AFM 测头，明确了课题的研究目的、意义和主要内容。 2. 针对 AFM 测头的精密驱动单元设计，提出了一种基于柔性铰链结构的机 械结构，并利用 ANSYS 有限元对其进行静力学和动力学仿真分析，实现了结构 的优化。 3. 针对 AFM 测头的位移检测单元，设计了带有中间通光孔的环形电容传感 器，利用 ANSYS 有限元对其进行静电场仿真分析，优化尺寸设计。 4. 针对精密驱动单元和位移检测单元分别设计了高压驱动电路和传感器信 号调理电路。 5. 编写了精密驱动单元的控制程序和传感器信号采集程序；采用 LabVIEW 编写了上位机交互界面。 6.针对 AFM 测头的灵敏度、线性、分辨力等重要指标，采用激光干涉仪进 行标定实验，并对实验结果进行了分析。 关键词： 原位纳米力学测试 原子力显微镜 纳米压/划痕 压电陶瓷 柔性铰链 环形电容传感器 ABSTRACT Nanomechanical test tools include nanoindentation/scratch instruments and atomic force microscopy, etc. In these instruments, samples are indented or scratched and an AFM is usually used off-line to scan the scratched area. There is not doubt that it is quite difficult for the AFM to find the scratched area. AFM’s core parts are the probe and the displacement detection unit. Most commercial AFMs don’t have a calibrated length sensor. The probe’s displacement, which is calculated by the voltage applied to the piezoelectric ceramic tube, is not accurate enough for most Nano-mechanical tests. In this thesis, an AFM head with functions of in-situ testing and length tracebility using a capacitive position sensor is developed. Immediately after a nanomechanical test, the AFM head can scan the indented a