《钎焊金刚石线锯切割单晶硅材料时的断裂行为研究-论文》.pdfVIP

2014年 8月 第 4期 金刚石与磨料磨具工程 Aug．2014 第 34卷 总第 202期 Diamond AbrasivesEngineering No．4 Vol_34 Seria1202 钎焊金刚石线锯切割单晶硅材料时的断裂行为研究 张国青 。，黄 辉 ，徐西鹏 (1．华侨大学脆性材料加工技术教育部工程研究中心，厦门 361021) (2．池州学院机械与电子工程系，安徽 池州 247000) 摘要 利用铜基钎料钎焊制备小直径金刚石线锯 ，观察线锯形貌，测试线锯力学性能，并在不同切割参数下 对单晶硅材料进行切割，记录观察切割过程中的线锯 受力，观察线锯断 口形貌，探讨小直径钎焊金刚石线锯 线锯过程中断裂行为及断裂机理。研究结果表明，线锯的断裂主要有正常疲劳断裂和非正常拉断。 关键词 钎焊线锯 ；受力分析；疲劳断裂 中图分类号 TQ164；TG74 文献标志码 A 文章编号 1006-852X(2014)04—0006—05 DOI码 10．13394／j．cnki．jgszz．2014．4．0002 Failuremodesofbrazeddiamondwiresaw forslicing monocrystallinesiliconmaterial ZHANGGuo-qing ， HUANG HuJ， XUXJ—peng (1．KeyLabofStoneMachining，HuaqiaoUniversity，Xiamen362021，China) (2．M echanicalandElectricalEngineeringDepartment，ChizhouCollege，Chizhou247000，China) Abstract Brazeddiamondwiresaw wasusedtocutmonocrystaUinesiliconmaterialatdifferentprocessing parameters．Thesolderlayerandfracturemorphologyofwiresaw wereobserved．Combinedwiththetheoretical analysisofwireSaW force，thefailuremodesandmechanism werediscussed．Experimentalresultsshowedthat thefailureofthebrazeddiamondwiresaw couldbedividedintonorma1failureandabnormalfailuremodes．The normalfailuremeanedthefatiguefractureofawiresaw，whiletheabnormalfailuremeaned theaccidental breakageofthewiresaw becauseofinappropriatecuttingparameters． Keywords brazeddiamondwiresaw；forceanalysis；fatiguefracture 固结金刚石磨料线锯切割技术具有切缝小、切割质 艺的影响，钎焊金刚石线锯 ，特别是小直径钎焊金刚石 量高等优 点 ，逐渐成 为单 晶硅材料 的切 片技术之 线锯 ，经过高温钎焊后 ，其基体力学性能大幅度 降低 。 El2] 一 。 。 钎焊金刚石线锯是近几年研发 的一种新型固 实际切割过程 中，如果实验参数选择不当，极易发生断 结磨料线锯 ，利用钎焊金刚石磨粒技术，实现钎料层与