三维形貌测量仪地研制和数字全息干涉计量技术研究.pdf

第一部分 激光扫描法三维形貌测量仪的研制 及精度分析 第一章绪论 第一章绪论 1．1物体的形貌测量的发展 如何测量一个现实的物体的宏观三维形状或精确测量其表面的微观形貌，是 人们长期以来一直追求的目标。最早的表面形貌测量方法起源于“比较测量”的思 想，即直观的手工测量方法。1929年德国科学家G．Schmalz第一次用光杠杆放大 原理对表面形貌进行了定量测量。1936年E，J，Albott制成了第一台车间用表面轮 J，其原理是利用机 廓仪…。1940年英国成功研制了Talysurf触针式表面轮廓仪【2 械接触式探头来逐点获取物体表面的三维坐标。1951年德国Opton厂生产出测 量表面粗糙度的干涉显微镜，1958年苏联研制出性能良好的MNN．4型干涉显微 镜【3I，用来对物体表面形貌进行测量，该方法实现由接触式测量向非接触式测量 的转变。六十年代初，随着激光的发明和应用，人们开始采用激光探针来代替原 来的机械式探头，如Renishaw公司用激光探针三坐标测量机来测量汽车壳体【4】。 光学非接触法对物体的形貌测量由于具有非接触、高精度、高效率等的特点，成 为近几年来研究的热点之一。 1．1．1物体宏观三维形状测量 物体的三维形状测量在现代工业及实际生产中起着非常重要的作用，在科 研、医学诊断、刑事侦查现场痕迹分析、自动在线检测、质量控制、机器人及许 多生产过程中被越来越广泛的应用。其在机械制造领域又称作为逆工程，即在许 多情况下只有产品模型或实物模型，而没有产品的定义和图纸。为了适应先进制 造技术的发展，需要将这些样件或模型转化为CAD模型。这就需要快速准确地 对产品模型或实物模型表面进行三维形貌测量得到其形貌的原始数据。此外，当 物体受力变形时，测量物体变形前后的形貌图还可以得到物体的形变，从而使得 对其进行力学分析成为可能。 第一章绪论 1．1．2物体微观形貌测量 物体微观形貌是指表面的微观几何形态，它是由于制造和加工过程中刀具和 零件的摩擦、切屑分离时的塑性变形和金属撕裂、加工系统的振动等原因，在零 件表面留下的各种不同形状和尺寸的微观结构。表面微观形貌越来越引起人们重 视的原因是表面微观形貌在很大程度上决定了零件的使用性能，它影响机械系统 的摩擦磨损、接触刚度、疲劳强度、配合性质、传动精度、导电、导热、抗腐蚀 性等，从而影响到机械产品的质量及可靠性。它是机械产品的重要质量指标。此 外，近代高科技的发展对于表面形貌提出了越来越高的要求。硅片表面粗糙度对 集成电路的电阻、电容、成品率影响很大：磁盘表面粗糙度影响到耐磨、使用寿 命、信号的读出幅度、信噪比等；x射线元件、激光器的反射镜窗片，同步辐射 光学元件、激光陀螺元件等都要求越来越高的表面质量。 1,2激光测量技术的发展 60年代，激光的问世堪称本世纪物理学的重大进展之一，是光学领域具有 革命意义的重大突破。激光优良的性能，使它很快在测量领域得到广泛的应用， 激光从根本上推动了测量技术的发展。激光测量由于具有非接触、全场测量和灵 敏度高等优点，在机械、航空航天、水利、土术、材料科学及国防建设等领域得 到广泛的应用。 传统的激光测量的数据采集是利用胶片或干版记录带有试件表面位移或变 形信息的光强分布，通过显影定影得到照片。六十年代末以来，国内外学者在双 J发表了用双曝光测量面内位移场的文章， 用于位移测量。1970年，Archbold【5 提出了剪切干涉法，直接得到了物体的应变信息。但是，由于显影定影操作费时 费力，实验条件难于精确控制，实验结果难于精确重复，不利于后续的计算机图 像处理。进入七十年代，光电子技术与数字图像技术飞速发展，特别是随着近年 来CCD摄像机、计算机软硬件及数字图像处理技术的飞速发展，人们希望寻求 不需要显影定影操作而直接获得图像并处理得到感兴趣物理量分布的方法，一系