光子器件有限元法分析设计平台和硅基微纳光功分器地研究.pdf

摘要 摘要 随着高速宽带信息网络的发展，对高速宽带光信号处理技术的需求日益凸显。基于 光子集成芯片(PIC)的小型化紧凑型光节点、光信号处理子系统／模块是实现先进光网 络的核心与基础。尽管PIC技术降低了模块与子系统的成本与功耗，提高了器件的可靠 性，但也大大增加了设计难度。为了实现“一次设计，制作成功"，必须研究精确的光波 导分析方法和数值分析软件，构建通用且易于扩展的光子器件分析设计平台。 本文深入研究了基于有限元法(FEM)的波导模式、传输及带隙理论模型。分别提 了光波导模式的快速高效分析。分别提出并建立了三维频域有限元束传播法(FEBPM)、 基于时域有限元离散的两维TD—FEBPM(时域有限元束传播法)算法模型，提高了光 波传输分析的精度。从微纳带隙光波导分析需求出发，引入有效原胞结构，建立了高精 度有限元带隙模型。 针对微纳光波导关键部件及耦合封装设计需求，本文提出并建立了遗传算法优化模 型。研制了基于以上各类算法的微波／光波波导有限元分析设计平台。基于所建立的并行 计算网络环境，实现了大角度拐弯、直角分路、定向耦合、光束变换等核心单元以及高 性能光波导器件的高效快捷优化设计。 针对当前光纤到户(mH)实际需求，本文提出并优化设计了一种基于多模干涉 1×32光功分器芯片。测试结果表明，该芯片功分均匀，光波波导有限元分析设计平台 结果正确。 关键词：集成光子技术；有限元法；遗传算法；波导有限元分析设计平台；光功分器 Ab或rad AbstraCt W池the of broadbaIldiI曲肌ation for deVelopmentmgh-speed ne咖rks，tllercqui姗ents havebeen become opticaJsigIlalprocessiIlgtecllllologies lligh—speed increausinglyprominent． B船edonthe small nodeand photoIlicinte伊atedcircuits(PIC)，mecoInpactoptical optical heVebeentllecorest0aChieVeadVancedne铆orl(S． signalprocessingsubsystem／module optical mePIC canreducethe the A1t110ugh technologies cost，powercons啪ption锄dimproVe is and t0be order reliabili耽itVe巧di伍cult五”n圯deVices，modulessubsyStemsdesigIled．In toachieVea”one need tlle desig玛fabricationsuccess”，、ⅣedeVelop opticalwaveguide precise methods趾ldn啪ericalsimulationsoRwarcs． analytical IIlthis onthefiniteelement of