三维微操作运动和定位控制地研究.pdf

三维微操作运动及定位控制的研究 第一章 绪论 1．1课题的背景及意义 随着微电子和微机械技术的迅速发展，由微电子、微机械机构、微传感器 和微执行器集成的微系统己成为这一领域最有发展潜力的部分。微系统的装配 技术成为影响微系统发展的重要因素，微装配系统成为研究微系统应用发展基 本的操作平台。近年来随着生物技术、基因工程的迅速发展，在生物医学领域， 微操作系统的研究和应用也越来越得到重视。显微注射用的微操作系统的研 究，是当今生命科学与微机电系统(MEMS)及微机器人交叉领域的重要课题， 成为各国科学家竞相研究的热点。 随着精密复杂的微操作系统的发展，微操作系统已具有了三维操作的功能。 同时，依靠传统的人工操作己不能完全胜任越来越精密复杂的微操作工作。采 用合适的控制方法，提高微操作工作效率和精确度成为微操作系统应用的重要 课题。 1．2国内外应用研究现状 1．2．1国外的微操作控制的研究进展 从八十年代开始，美国、德国、日本等发达国家相继开展了生物微操作系 统的研究，也推出了一些商业用生物微操作系统的产品。如早期LEICA公司推 出的机械操作式显微注射仪就是其中的代表。近年来，又结合计算