ITO镀膜交流报告.pptVIP

*/50 3、S16NL7R-60 ANS产品，物性规格是： 电阻：45±8.5 ITO膜厚度：450±70 透过率： 84%∽89% 耐热性:≤2.2倍 难控点:耐热性 生产时的建议: 1、温度最好控制在400-410度 2、ITO靶材开后3对 3、ITO靶材寿命控制在200KWH以内生产比较好 ■ 特殊客户注意事项 */50 ■ 镀膜应了解框架不同点的物性 例如弯曲度：框架上的玻璃弯曲度是由下向上，数值越来越大 建议： 整理出多机种数据来说明 上大下小 */50 ■ 镀膜应了解FQA设备性能 右边炉子比左边炉子耐热性差 产品放在上层耐热性比下层耐热性差 产品两侧放玻璃保护，耐热性数据稳定 产品放在炉子中间耐热性差 两侧和顶部产品耐热性比中间耐热性差 */50 ■ 镀膜应了解FQA设备性能 产品放在一块砖上的耐热性比放在两块砖上的差 简单道理：加热一升水需要5分钟时间， 加热2升水需要的时间就是10分钟， 所以放一枚玻璃进去在300度稳定和放10枚玻璃进去所需要的时间是不一样的 耐热性差 */50 产品加入O2后为什么电阻会升高 加入O2后，ITO薄膜溅射的过程中，会产生大量的氧负离子,氧负离子在电场的作用会轰击到所沉积的ITO薄膜表面，使ITO薄膜的结晶结构和晶体状态造成结构缺陷。溅射的电压越大，氧负离子轰击膜层表面的能量也越大