复合氧化膜对高压阳极腐蚀铝箔比电容地影响.pdf

摘要 摘要 电容器是组成电子电路的主要元件，它可以储存电能，具有充电、放电及 通交流、隔直流的特性。其中，铝电解电容器以容量大、体积小、重量轻、价 格低廉以及具有一定的自愈作用而著称，被广泛用于各种电子电路中。由于大 容量铝电解电容器无法采用半导体工艺实现，其体积已经严重地制约了电子整 机系统的小型化进程，因此对铝电解电容器小型化、稳定性、高性能化、低成 本的要求也越来越迫切。 高比容铝电极箔制造技术是实现铝电解电容器小型化的关键技术，阳极箔 是制造铝电解电容器的关键原材料，其表面阳极氧化膜的性能极大地决定了铝 电解电容器的体积与应用。本论文从提高高压阳极箔介质氧化膜介电常数的角 度出发，结合国内外高介电常数复合氧化膜的发展状况，提出了采用溶胶一凝 胶法(Sol-gel法)制备高介电常数复合氧化膜技术。详细研究了制备过程中各 工艺参数对高压阳极箔比容提高率的影响，通过相关的实验结果及分析，得到 了相应的工艺参数，大幅度提高了国产高压阳极铝箔比容水平，取得了以下的 主要结论： 1、本部分研究了引入阀金属氧化物TiOz的高介电常数复合阳极氧化膜技术， 要结论如下： (1)通过大量的探索性试验和优化，本实验开发了可以长期稳定保存的、 利于高压阳极腐蚀箔