高真空高洁净磁悬浮复合分子泵及其控制系统地研究.pdf

Classified Index: TG133.3 U.D.C: 621.822 Dissertation for the Doctoral Degree in Engineering RESEARCH ON MAGNETICALLY SUSPENDED COMPOUND MOLECULE PUMP AND ITS CONTROL SYSTEM FOR HIGH VACUUM AND CLEAN ENVIRONMENT Candidate ： Liu Pingfan Supervisor： Prof. Fu Hongya Academic Degree Applied for ： Doctor of Engineering Speciality： Mechanical Manufacturing and Automation Affiliation ： School of Mechatronics Engineering Date of Defence ： 5, 2013 Degree-Conferring-Institution ： Harbin Institute of Technology 摘 要 摘 要 神光 III 是我国在建的激光惯性约束核聚变工程，其中终端光学组件作为惯 性约束核聚变中激光光路传输的末端装置，承担着频率转换、谐波分离和光路 聚焦等功能。其核心元件 KDP 晶体镜片工作环境必须为高洁净和超高真空的大 型密闭容器，要求无油和无碳氢化合物等污染，且工作真空度1×10-8 Pa ，极 限真空度甚至要达到1×10-9 Pa 。为了满足神光Ⅲ终端光学组件模块高真空、高 洁净环境的要求，研制了磁悬浮复合分子泵作为达到高真空、高洁净环境的主 要装置，采用无物理接触和无需润滑的磁轴承系统，融合涡轮叶片结构和多螺 旋槽牵引结构，实现了无油蒸汽返流以及无其它碳氢化合物污染，对额定工作 转速高于其刚性临界转速、转子大转速范围内稳定性、高速运转时陀螺效应对 系统稳定性的影响、结构模态和高阶挠性模态振动的抑制、系统基座振动等问 题进行分析研究，设计了磁悬浮复合分子泵结构和及其控制器。磁悬浮复合分 子泵系统的研制为神光Ⅲ工程实现达标奠定了坚实的基础。 依据神光Ⅲ终端光学组件对高真空高洁净环境的要求，确定磁悬浮复合分 子泵的技术参数，对其总体结构进行了设计和分析；根据涡轮叶片结构和多螺 旋槽牵引结构的工作原理，分别设计多级涡轮叶片和多螺旋槽牵引的结构和参 数；利用 Fluent 软件分别对设计的多级涡轮叶片和多螺旋槽牵引结构进行了流 场流态分析，对抽气通道内的流动规律进行了数值模拟，重点分析了多螺旋槽 结构参数与抽速的关系，仿真结果为其结构设计和优化提供基础。其结果证明 在磁悬浮复合分子泵结构设计中结合流场数值模拟可以节约设计成本，成为今 后其结构设计的主要方法。 根据磁轴承系统工作原理对磁悬浮复合分子泵的径向和轴向磁轴承机械结 构进行设计和改进；针对磁悬浮复合分子泵高转速、支撑刚度可变、陀螺效应 较强的特点以及薄叶片的结构特征，建立磁悬浮复合分子泵磁轴承支撑叶片转 子系统模型，通过有限元软件对叶片转子系统进行模态分析分析了叶片转子系 统的模态频率和模态振型，对叶片转子系统高转速下出现频率分叉现象进行分 析，为控制器设计提供了理论基础。 以磁悬浮复合分子泵叶片转子系统为对象建立系统控制模型，并以此为研 究对象进行分散 PID 控制器设计以满足转子稳定悬浮和正常运转；设计交叉反 馈控制器对转子陀螺效应进行抑制，通过 Matlab 软件进行仿真分析验证控制器 的有效性；为了避免激发转子结构模态和挠性高频模态的振动，设计陷波滤波