掺铒Al-%2c2-O-%2c3-薄膜制备工艺、光波导增益特性的理论和实验的研究.pdf

掺铒A1203蓐膜削备工艺、光波导增益特性的理论与实验研宽 摘 要 掺铒光波导放大器不仅可以在全光通信网络的发展中发挥重要的作用，而且也将在 光电子集成的研究中发挥重要的作用。 本文探索了掺铒、镱铒共掺A1203薄膜和硅酸盐玻璃的制备工艺，对掺铒、镱铒共 掺A1203光波导放大器增益特性进行了理论和实验研究，主要内容包括以下几个方面： 1．用有限元法、传输方程和速率方程，数值模拟了脊形掺铒A1203光波导放大器净增益 与掺铒浓度、波导长度、泵浦功率和信号功率的关系。计算结果为有源光波导器件的 优化设计，提供了理论依据。讨论了光波导器件出现的侧蚀对放大器净增益的影响。 2．首次分析了多级脊形掺铒A1203光波导放大器级联的净增益特性。级联放大系统中， 不仅存在第一类净增益亏损，也可能出现第二类净增益亏损。净增益亏损与光波导掺 铒浓度、输入信号强度有关。掺铒浓度越高、信号功率越强，净增益亏损越大。 3．探索了制备掺铒、镱铒共掺A1203薄膜的三种工艺方法。其中，首次采用中频磁控溅 射同步沉积法制备了镱铒共掺A1203薄膜，和首次采用微波等离子体磁控溅射同步沉 积法制备了掺铒A1203薄膜。研究了各工艺参数对薄膜质量的影响，并进行了参数优 化。制备的薄膜掺杂浓度均匀、致密、粗糙度小、折射率高。 4．测量了掺铒、镱铒共掺A1203薄膜光致发光强度与掺铒浓度、镱铒掺杂比、泵浦功率 和退火温度的关系，并给予定性的解释。镱铒共掺A1203薄膜的镱铒最佳浓度比为9：l。 退火温度的不同，影响了A120，薄膜的相结构，导致了光致发光强度的变化。 5．给出掺铒、镱铒共掺硅酸栽玻璃的制作工艺，分析了它们的光致发光特性和吸收谱。 测量了掺铒、镱铒共掺硅酸盐体块玻璃级联时的光致发光特性。实验结果证明级联系 统中存在着净增益亏损，测量结果与数值模拟计算相吻合。 光波导放大器的净增益随泵浦功率近似线性增长，阈值功率为18mW。 7．测量了掺铒、镱铒共掺硅酸盐玻璃丝的净增益特性。100mW泵浦功率下，单位长度 关键词：镱铒共掺A1203光波导放大器；薄膜制备；光致发光特性：净增益特性；数值 模拟；级联：掺铒、镱铒共掺硅酸盐玻璃 Abstract Erbium-dopedwaveguide all influencenot onthe amplifiers(EDWA)haveimportant only of theAll alsoontheresearchof developmentOpticalNet(AON)，but IntegrateCircuit(OEIC)． this and In of filmssilicatewithEr or thesis，fabricationA1203 glass techniques dopant Yb：Er were characteristicsof orYb：Er CO—dopant explored．Thegain Er-doped CO—dopedA1203 were and main worksare amplifierstheoreticallyexperimentallyinvestigated．The waveguide asfollows： outlined the