ITO透明導電薄膜從發展與應用到製備與分析.PDFVIP

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CHEMISTRYTHE CHINESE CHEM. SOC., TAIPEISeptember. 2005 Vol. 63, No.3, pp.409~418 論 ITO 北 (ITO)見率 良 Switch Glazing 樓車 Sensor Ozone, NO2 六 不異 Antireflection coating 來 了 更便利年來 不 PDA LCD 3C 了 料Indium Tin Oxide (ITO)更 1980 年 (Transparent conductive oxide , 量ITO 易 TCO ) 例 見率ITO LCD LCD ITO 料 不 (Touch panel ) 異 ITO 論 CRT 都行列 輻EMI RMI 降 410 年六 ITO ITO 1 數 1.0118 nm 2.1 歷 理論度 7.14 g/cm3 率 1.7 ~ 2.2 1954 年 Rupprecht 金(In) 2.9 ~ 3.8 eV 700 ~ 1000 20 21 -3 度 10 ~ 10 cm 理 In2O3 2 率 10 ~50 cm /V·sec In2O3 1968 年蘭Philips Boort Groth InCl

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