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理论研究和实验结果表明，本文所设计的恒温、恒湿、洁净抗振的微纳米测量环境控
制箱，达到了预期的设计目标。
关键词t半导体审0；令；温度控制：分离式环境控制箱；CFD；系统辨识；PID；模糊控制；
模糊自整定PID；振动隔离
ABSTRACT
to eavironmentof
Its a measur锄ent
necessarykeephighprecision constant馏叫脚鹕constant
and
aIld锄d-、i蜥。叮forfieldofmicro／nano-metcrmeamax：lnent
humidity,clean lhe com01．Accurately
theenviromncntislhebasistoachievethe mcasuremmtresearch
eon血olling high-recision Many
haveconc锄mUatOIlthe ofrnicrolnano-metermeamaementenvironmentinthewodd．
ol氍lizafiolm research
deviceinlheroomofconstant
Someoftheresearchesthemicto／nano-metermeasmementand
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andcleanconditions．The ill
把mpt嬲舡lre，constant the蝴tOO．Actually
humidity q朋籼thetL=fore，work
the needsthe measurmaent in
onlymeasuringequipmentwell-controlledenvironment．Therefore,itsimptxmnt
虬ienceand reseamha锄allmeamaemcatchamberofconstant
a嘻h啦to tempemtt如constanthumidit、j,
cleanandanti-x，1hationmeastmemeatenviroxmaentformicro／nano-metermeasurement
equipment
TMsfixes focusesonthe cxmtml of
mainly desi萨andimplemantationofwoddng芦i11cipl鹧andsystem
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chamber andanti-vtlarafionconditionshasbeen
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