晶体硅太阳能电池梯度减反射膜及其硅锭中晶体缺陷研究.pdf

摘要 摘要 多晶硅太阳能电池的转换效率虽然稍低于单晶硅太阳能电池，但前者因制 备工艺较简单、成本较低而更受市场的欢迎。目前，如何提高硅基太阳能电池 的转换效率已成为光伏领域的研究热点之一。提高硅基太阳能电池的效率主要 有两种途径：多晶硅硅锭制备工艺的改进和电池制备工艺的改进。 多晶硅铸锭工艺主要有三种：浇铸法、直接熔融定向凝固法(布里奇曼法) 和电磁铸造法(EMC)；直接熔融定向凝固法是目前主流的生长工艺，该方法可以 生长出取向性较好的柱状硅锭。为了得到尺寸更大、质量更高的多晶硅铸锭， 多晶硅锭的生产工艺仍然需要进一步完善；通过计算机对多晶硅凝固进行数值 模拟是一种经济有效的方法，大量实验表明模拟结果具有较好的可靠性。本论 文采用CGSIM软件对多晶硅铸锭炉内的温度场、温度梯度和硅熔体中的流场进 行数值模拟，得到了它们在不同长晶高度(隔热笼开度)和长晶速度时的分布图， 为解释多晶硅硅锭不同位置出现微晶的机理提供了一定的实验依据，为今后进 一步优化生产多晶硅锭的工艺提供参考依据。 定向凝固多晶硅中存在较高密度的晶体缺陷(位错、晶界、微晶)，这些缺陷 的存在影响了多晶硅太阳能电池的转换效率。本论文借助光学显微镜通过观察 位错的微观形貌来研究定向凝固多晶硅锭中的位错特征，发现了位错分布的高 度不均匀性、以及大量的滑移位错。利用扫描电子显微镜(SEM)并结合背散射电 子衍射(EBSD)技术观察定向凝固多晶硅样品的表面形貌，对其中的晶界类型、 分布、晶粒间取向特征等进行了研究；这些结果有助于理解多晶硅太阳能电池 的效率为什么低于单晶硅太阳能电池。本论文也研究了多晶硅锭定向凝固生长 过程中微晶的形成，结合硅锭炉中温度场、温度梯度和流场及晶体形核和长大 的相关理论解释了微晶形成的机理，并研究了微晶区域的面积百分比对太阳能 电池光伏性能的影响行为。 本论文使用SiH4和NH3作为反应气体，采用化学气相沉积技术制备了单层 和双层氢化氮化硅(SiNx：H)减反射薄膜。通过改变反应气体的流量比来控制 SiNx：H薄膜的折射率n值在1．8到3．3之间变化，改变沉积时间来控制双层 SiNx：H薄膜中的顶层和底层厚度；通过对多晶硅太阳能电池双层SiNx：H减反射 薄膜进行优化，得到了顶层和底层SiNx：H薄膜的最佳参数：顶层折射率nl=1．9、 摘要 优化后的双层SiNx：H太阳能电池比单层SiNx：H具有更好的光伏性能，这包括 更高的转换效率小更高的开路电压V∞和更大的短路电流密度J舻 为进一步降低太阳能电池的光反射，在SiNx：H减反射膜上生长了氧化物纳 米结构，对这种纳米结构进行设计和模拟计算。考虑到ZnO在各种基体上能较 容易地生长成纳米阵列，其纳米晶的形貌容易控制，本论文选择在SiNx：H减反 射膜上生长ZnO纳米结构来进一步降低太阳能电池的反射率。实验中，在SiNx：H 减反射膜上用水浴法生长ZnO纳米结构阵列膜层，形成梯度减反射薄膜，从而 进一步降低太阳能电池的光反射率；采用严格耦合波分析方法(rigorous coupled．waveanalysis，简称为RCWA)对此梯度膜层进行设计；研究了水浴温度、 时间和溶液溶度对ZnO纳米柱生长特征及其性能的影响：得到了ZnO纳米柱的 直径、长度和阵列之间的距离不同与对光的反射率之间的关系；用有限差分时 域(finite．difference 池光反射率的机制。 为了获得到ZnO纳米棒的形状与对光的反射率之间的关系，论文采用水浴 法在SiNx：H层上成功地制备了掺铒的ZnO纳米须阵列；研究了生长时间对掺铒 的ZnO纳米须阵列的微结构的影响，结果发现掺铒的ZnO纳米须阵列的长度和 直径随生长时间的延长而增大。当生长时间增加到90和120min，掺铒的ZnO 纳米须阵列的纳米须底部相互连接在一起，其顶部由针状变为平坦；使其减反 射性能变差。60min生长的掺铒的ZnO纳米须阵列呈现出最好的减反射性能和 光伏性能，其转换效率由15．64％增加到17．41％。在水浴法制备掺铒ZnO的过 程中加入氨水，可得到抛物体纳米结构阵列膜，集成了此膜的电池在宽波长、 宽角度下反射率仅为O．3％，光电转换效率可相对提高20％。通过光学模型的建 立，论文对该实验结果进行了合理解释。 关键词：晶体硅太阳能电池；减反射膜：纳米结构阵列；定向凝固；晶体缺陷