低温共烧陶瓷厚膜制备和其受约束烧结致密化行为研究.pdfVIP

A Dissertation Submitted for the Degree of Master Preparation and constrained sintering behavior of low-temperature co-fired ceramic tapes By Liangping Yu Hefei University of Technology Hefei, Anhui, P.R.China March,2014 III 万方数据 导师： IV 万方数据 V 万方数据 60 万方数据 致 谢 本论文是在导师左如忠教授的悉心指导下完成的。左老师渊博的学识、敏捷 的学术洞察力、严谨的治学态度和孜孜不倦的敬业精神深深的影响着我、激励着 我，使我受益终生。在此谨向我的导师左如忠教授表示衷心的感谢和崇高的敬意。 感谢我们实验室的齐世顺、赵万里、吕洋、左文武、刘隆东、付健、刘义、 吕丹亚、程迎、易海锋、杨菲菲、张健、祈核、张天文、李峰、马兆胜、张臣、 郑东庚、王洋等在学习和生活上给予的关心、支持和帮助。特别感谢齐世顺师兄 在实验和论文方面给以的指导和帮助。 最后，感谢我的家人，谢谢你们对我一如既往的支持和无私的付出，给予我 努力学习的信心和力量。 谨以此文献给所有关心帮助我的老师和朋友们！ 作者：余良平 2014 年3 月25 日 VI 万方数据 摘 要 近年来，随着混合集成电路的发展，低温共烧陶瓷（LTCC ）成为研究的热点。 尤其是高性能、高精度电子产品的推广，开展 LTCC 厚膜受约束烧结致密化行为 和相关理论研究势在必行。本文以DuPont 951 （DU ）、Ferro A6M （FE ）和YinFeng 8.5 （YF ）三种 LTCC 材料为研究对象，研究了流延法制备银峰LTCC 厚膜的工艺； 垂直烧结下DU 、FE 和YF 三种LTCC 厚膜受约束烧结致密化行为；以及硬质基板 上不同厚度YF 厚膜受约束烧结致密化行为。主要内容如下： 本文对LTCC厚膜的流延工艺进行了研究。通过实验分析比较，选用甲苯和无 水乙醇按质量比3 ︰2 的比例混合配制成二元混合溶剂，最佳用量为粉体质量的 200%~220% ；选用磷酸三乙酯为浆料的分散剂，当其用量为粉体质量的1%时，分 散效果最好；选用聚乙二醇 （PEG ）和邻苯二甲酸二丁酯 （DOP ）为增塑剂，使用 复合增塑剂后，粘度随着D