感应耦合等离子体(ICP)光源放电模拟研究.pdf

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2016-01-15 发布于安徽
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|lIIIIIIII lllU I I II IIt III II IIl Y2 700556 目录摘要………………………………………………………………………………………………………………………………．．1 Abstract．．………．．．．．．．．……．．．．．．……．．．．．………．．．……．．…．．．，．．…．．．．．．．……．．．．……．．．．．……．．……．．…．．．．．．．．．．……．．．．2 第一章绪论………………………………………………………………………………………．3 1．1ICP基本原理……………………………………………………………………………．5 1．2ICP研究进展……………………………………………………………………………．5 1．3本论文主要工作………………………………………………………………………．．13 1．4本论文的创新点………………………………………………………………………一14 第二章磁芯内置式ICP光源模型的建立与研究………………………………………………15 2．1引言…………………………………………………………………………………………………………………．15 2．2光谱诊断实验…………………………………………………………………………一15 2．3模型的建立……………………………………………………………………………．．16 2．4结果与分析……………………………………………………………………………．．20 2．4．1基本参数分析……………………………………………………………………2l 2．4．2氩气压强和频率对放电的影响…………………………………………………22 2．5本章小节………………………………………………………………………………．．27 第三章磁芯外置式ICP光源模型的建立和研究………………………………………………28 3．1引言……………………………………………………………………………………～28 3．2实验…………………………………………………………………………………………………………………．28 3．3模型的建立……………………………………………………………………………一33 3．4模拟与实验结果对比…………………………………………………………………～35 3．5模拟结果分析…………………………………………………………………………一36 3．6磁芯内置式ICP光源和磁芯外置式ICP光源的比较………………………………．．41 3．7本章小节………………………………………………………………………………．．42 第四章线圈绕制式ICP光源特性的研究………………………………………………………44 4．1引言……………………………………………………………………………………”44 4．2实验………………………………………………………………………………………………………．44 4．2．1灯管发热现象研究………………………………………………………………44 4．2．2光谱测量…………………………………………………………………………47 4．3线圈绕制式ICP光源二维自洽模型…………………………………………………．．49 4．3．1模拟结果和实验结果对比………………………………………………………50 4．3．2频率对放电参数的影响…………………………………………………………so 4．3．3气体温度对放电参数的影响……………………………………………………53 4．4本章小节………………………………………………………………………………．．56