第三章 扫描电镜.ppt

扫描电子显微镜Scanning Electron Microscope 分析测试中心 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜是利用聚焦电子束在试样上 扫描时，激发的一些物理信号来调制一个同步扫描 的显像管在相应位置的亮度而成像的一种显微镜。 SEM是近几十年来发展起来的一种大型精密电子光 学仪器，它是观察样品微区形貌和结构的有力工 具，在冶金、地质、矿物、高分子、半导体、医学 、生物学等领域有着广泛的应用。 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这 样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分 析。 1.扫描电子显微分析的基本原理 1932年德国发明了第一台电子显微镜，并于1986年 获得诺贝尔物理奖。 电子显微镜主要特征： 以电子束代替光镜中的光束作为入射光 电子束的波长由加速电压所决定 例：V=100 kV时，λ=0.0039 nm，此时分辩率为0.002 nm 以电磁透镜代替光镜中的玻璃透镜 电磁透镜的本质是一个透过直流电的线圈所产生的磁场，电子束受到磁场力的作用而改变其运动方向和速度，如同光束通过玻璃透镜，最终会聚焦。 1.1电子束与固体样品作用时产生的信号 扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦的非常细 的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信 息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像， 获得对试样表面形貌的观察。 具有高能量的入射电子束与固体样品的原子 核及核外电子发生作用后，可产生多种物理信号 如下图所示。 背射电子： 背射电子是指被固体样品原子反射回来的一部分 入射电子，其中包括弹性背反射电子和非弹性背 反射电子。 二次电子 ： 二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。 当原子的核外电子从入射电子获得了大于相应的 结合能的能量后，可脱离原子成为自由电子。如 果这种散射过程发生在比较接近样品表层处，那 些能量大于材料逸出功的自由电子可从样品表面 逸出，变成真空中的自由电子，即二次电子。 特征X射线 ： 特征X射线试原子的内层电子受到激发以 后在能级跃迁过程中直接释放的具有特征 能量和波长的一种电磁波辐射。 俄歇电子 ： 如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出 来的能量不是以X射线的形式释放而是用 该能量将核外另一电子打出，脱离原子变 为二次电子，这种二次电子叫做俄歇电子。 扫描电子显微镜的原理结构示意图 1.2 扫描电镜的成像原理 二次电子成像原理 形貌衬度---由于二次电子是从样品表面5-10nm深度范围内激发出来的，因此二次电子对微区表面的几何形状十分敏感，影响二次电子图像衬度的主要因素是表面凹凸形貌造成的衬度。 原子序数衬度--- 原子序数大的地方射出的二次电子多，图像亮；而原子序数小的地方射出的二次电子少，图像暗。 电位衬度--- 电位低的地方二次电子少，图像暗；而电位高的地方二次电子多，图像亮。 二次电子产额与样品表面形貌的关系 实际样品中二次电子的激发示意图 (a)二次电子(SE)像 (b)背散射电子(BSE)像 亚共析钢中铁素体和珠光体的SEM形貌 2. 1 扫描电子显微镜的结构 扫描电镜由电子光学系统，信号收集及显示系统，真空系统及电源系统组成。 扫描电镜的仪器构造 SEM--- 仪器型号：JSM-5600LV型 生产厂家：JEOL公司 EDS --- 仪器型号： IE 300 X 生产厂家： Oxford 二次电子检测器和背散射电子检测器的工作原理 2.2 扫描电镜的主要性能 分辨率 分辨率是指图像上可以分辨的两个特征物（颗粒或区域）之间的最小距离。JSM-5600LV型扫描电镜的分辨率为：3.5nm(高真空分辨率)和4.5nm(低真空分辨率)。由于二次电子的逸出深度和广度较小，故二次电子的图像分辨率最高，图像清晰。 放大倍数 放大倍数是指电子束在显像管上扫描幅度Ac 与试样上扫描幅度As之比（ Ac / As ）。由于扫描电镜的荧光屏是固定的，因此只要减小或增加镜筒中电子束的扫描幅度就可以相应地增大或减小放大倍数。 JSM-5600LV型扫描电镜的放大倍数范围为18-300,000倍。 高真空分辨率 低真空分辨率 2.3 扫描电镜的优点 分辨率高 景深大 放大倍数范围宽 制样简单 对样品损伤小 得到的信息多 3. 运用 固体样品表面微区形貌观察； 材料断口形貌及其内部结构分析； 微粒或纤维形状观察及其尺寸