球面光栅干涉式表面测量仪若干关键技术地研究.pdf

Classified Index: TH741 U.D.C: 621.3 Dissertation for the Doctoral Degree in Engineering RESEARCH ON THE KEY TECHNOLOGIES OF THE SPHERICAL GRATING INTERFEROMETER FOR SURFACE MEASUREMENT Candidate Piao Weiying Supervisor Prof. Yuan Yibao Academic Degree Applied for Doctor of Engineering Speciality The Discipline of Instrumenttation Science and Technology Affiliation School of Electrical Engineering and Automation Date of Defence September, 2009 Degree-Conferring-Institution Harbin Institute of Technology PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 摘 要 摘 要 大量程、高分辨率、高精度表面测量技术是计量测试领域的重要研究内容。 特别是随着纳米科学与技术的发展，将表面量仪的分辨力提高到纳米级已成为 现实的需求。同时，面向工程表面的测量要求量仪具有更大的量程，这些都对 现有的传感技术和测量方法提出了新的挑战。 本 在分析近年来国内外这一领域技术发展的基础上，提出了球面光栅干 涉测量方法，为表面轮廓测量提供了一个新的思路和方法。并针对球面光栅干 涉式传感器原理、光栅干涉仪的光路结构、高分辨率的电子系统、传感器非线 性特性的校准方法、表面的分离技术等这几个关键问题展开研究，为建立一种 新型的表面测量与分析系统做好理论和技术方面的准备。 （1）给出了球面光栅的复振幅透过率函数，用标量衍射理论，对球面正弦 相位光栅的菲涅耳衍射和夫琅禾费衍射的复振幅分 和光强分布进行了分析， 并与平面正弦相位光栅进行了比较。通过Matlab 仿真给出了二者的光强分 ， 仿真结果与实验结果相吻合。 （2 ）为降低干涉条纹对光栅偏摆的敏感性，提出了一种新的光栅干涉仪光 路结构。利用非标准的猫眼逆反射器将一次衍射光逆反射回光栅上，产生二次 衍射，利用二次衍射光产生干涉条纹。该光路结构对光栅偏摆不敏感。对这种 光路结构进行了理论分析，通过实验证实该光路结构能够在一定程度上提高干 涉条纹的质量。 （3 ）基于只读存储器细分方法研制出一种具有高细分倍数和高频响特性的 细分电路。该电路基于高速A/D 和CPLD 实 ，具有防误计数的功能。对其细 分误差进行分析，分别研究了直流漂移、两路信号