溶胶—凝胶法制Al掺杂ZnO（AZO）薄膜及其性能研究.pdfVIP

溶胶．凝胶法制备Al掺杂ZnO(AZO)薄膜 及其性能研究 摘 要 透明导电氧化物薄膜因其具有低的电阻率和在可见光范围内高的透射率， 在太阳能电池、液晶显示等领域获得了广泛应用。透明导电氧化物薄膜主要包 电、光电、气敏、压敏等特性，近年来受到广泛关注。Al”掺杂的ZnO(简称 AZO)薄膜因其具有优良的光电性能已成为研究热点之一。 12～600℃)以及退火气氛(空气、氢气和氩气)对薄膜晶体结构、透射率及 电子能谱(XPS)、光谱仪、四探针测试仪等对制备的AZO薄膜进行了表征和 性能研究。 研究表明：采用溶胶一凝胶法所制备的AZO薄膜为纤锌矿型结构，退火 高其导电性能，掺杂浓度为2％时，薄膜电阻率最低。退火温度与退火气氛对 薄膜的电阻率也有明显的影响。掺杂浓度为2％时，空气中不同温度下退火处 10“Q·cm。退火温度与退火气氛对 气中退火处理的薄膜电阻率最低，为2．238x 薄膜的透射率影响不大，薄膜在可见光区的透射率均在85％到90％左右。 关键词；AZO薄膜；溶胶．凝胶；A13+掺杂；退火处理；光电性能 oF PREPARATlONAL．DoPEDZNoFlLMSBYSOL．GEL METHODANDSTUDYoFTHEIRPRoPERTIES Abstract conductiveoxidethinfilmsexhibitlow and Transparent resistivityhigh transmittanceinthevisible was tovariousdevices lightrange．Itwidelyapplied solar as andconductiveoxide includingcell，liquidcrystaldisplaytransparent conductiveoxidethinfilms include electrodes．Transparent mainly SB02，In203， ZnOandtheir much thinfilmshave attention dopedsystem．ZnO recentlygained duetotheir andstress good sensitivity sensitivity piezoelectric，photoelectric，gas behaviors．The filmshavebecomeoneofthefocuses A13+．dopedZnO(AZO)thin researchbecauseofitsexcellentandelectrical optical properties． Inthis ZnOthinfilmswere on substrates paper，theA1’+doped depositedglass of films