热丝化学气相沉金刚石薄膜涂层刀具附着力的研究.pdfVIP

摘要 摘要 金刚石具有硬度高、耐磨性好、摩擦系数小、导热性高、热膨胀系 数低和化学惰性等优良特性，在特种刀具领域具有很好的应用前景，是 目前已知的最优良的刀具材料之一。但目前在该方面的应用仍未达到工 业应用要求，这主要是由于金刚石薄膜与刀具表面的附着力问题没有得 到很好的解决。 影响金刚石薄膜与刀具表面的附着力的原因主要有两方面： 1．硬质合金刀具中Co的存在使得在化学气相沉积金刚石薄膜的过 程中容易在界面层形成石墨，从而限制了金刚石的形核密度、降低了金 刚石薄膜的质量以及膜基结合力； 2．金刚石薄膜本身的微观结构导致金刚石薄膜与基体之间的内应 力较大，使得金刚石薄膜容易断裂，甚至剥落。 本研究主要根据上述两方面，从三个方向入手研究提高金刚石薄膜 与基体的附着性能。 首先，研究热丝偏流、热丝与基体之间的间距及碳源浓度等实验参 数对金刚石薄膜内应力的影响，确定使金刚石薄膜内应力达到最小的最 佳沉积条件。 第二，在金刚石薄膜内应力最小的最佳沉积条件，采用含氧等离子 体刻蚀硬质合金刀具表面，再用热的浓碱溶液清除刀具表面氧化物，脱 尽WC表面的钴的同时，粗化WC表面，提高金刚石薄膜与硬质合金基 底之间粘附性。 第三，在传统酸蚀法和两步酸蚀法的基础上采用三步法酸蚀法：使 用Murakami剂进行表面粗化，H等离子体脱碳还原后，磁控溅射施加 摘要 过渡层进一步提高金刚石薄膜与硬质合金基底之间的结合力。 研究结果表明，通过调整工艺参数得到金刚石膜基内应力的变化趋 势，最终获得了最佳工艺参数。并在此基础上采用三步法酸蚀法和采用 含氧等离子体刻蚀法对硬质合金表面进行了预处理，结果表明，两种方 法都有效提高了金刚石薄膜与基体的附着性能。 关键词：金刚石薄膜；热丝化学气相沉积；三步法酸蚀；氧等离子体刻 蚀；内应力 Ⅱ Abstract Abstract Diamondfilmshavealotofexcellent suchas hardness， propertieshigh wear frictioncoefficientand thermal high resistance，low high conductivity． Thediamondfilmcoated toolshavebeen in cutting extensivelyapplied fieldsanddiamondfilmsturnedtobethemost manyhigh．tech important materialfor tools．Theadhesion between cutting problems diamondfilms and toolshavenot been resolvedandithas limited cutting yet ideally badly theindustrial ofdiamondfilmcoated t001．Therearetwo application cutting causesfortheadhesionofdiamondfilmson major WC．Cosubstrates：On