软X射线多层膜微结构表征与结构设计.pdfVIP

天津大学硕士论文 摘要 本文基于循环光学模型，计算了各种非理想软x射线光学多层膜的镜向反 射率，发现调制周期和层厚比对Bragg峰的角位置有明显的影响，而界面粗糙和 界面成份扩散则会使反射曲线产生不同的强度分布，因此通过对反射率曲线的 拟合可以计算出多层膜的调制周期、层厚比和界面粗糙度等参数。但由于计算 模型中采用了大量近似，因而对平均折射率和层厚比的计算会产生较大的误差。 当界面粗糙和界面成份扩散同时存在时，两者对多层膜镜向反射率的影响 难以区分。计算结果表明，只考虑其中一种非理想因素的处理方法并不能反映 多层膜的真实情况。我们采用I．Pape的计算模型，考虑界面粗糙和界面扩散对 掠入射X光反射率的共同作用，得到了较好的结果。 采用对向靶磁控溅射法制各了Co、C单层膜和Co／C多层膜，并用掠入射x 射线反射法对其结构进行了表征，得到了薄膜的厚度、平均密度和界面粗糙度 等参数；同时发现采用DW因子描述界面粗糙度的传统方法具有局限性。为此 我们提出了用层厚漂移来表征界面粗糙度的新方法，并对单层Co薄膜进行了表 面粗糙度的表征，得到了较好的结果。利用原子力显微镜对薄膜的表面粗糙度 进行测量，所得结果与x射线反射法的计算结果基本一致。 基于梯度功能材料的概念，研究了宽反射带软x射线多层膜的结构特点。 提出了自上而下逐层设计的多层膜设计的新思路，并用Monte—Carlo方法设计了 宽反射带软x射线多层膜，与传统的设计方法相比较，设计过程的计算量大大 减小，提高了工作效率。通过纵向梯度多层膜的结构设计，从理论上得到了宽 反射带软x射线多层膜的结构模型，发现了宽反射带多层膜的规律性结构特点。 关键词：软x射线，多层膜，界面粗糙度，界面过渡区，宽反射带多层膜，退 火模拟Monte．Carlo方法 天津大学硕士论文 A_BSTRACT Basedontherecursive model，the ofvarious optical specularreflectivity non—idealsoft hasbeencalculated．Itwas x-raymultilayers foundthatthe of position issensitivetothemodulation andthickness interfacial Braggpeak period ratio，and andinterdiffusionaffectthe indifferent the roughness refiectivity ways．Therefore modulation ratioandinterfacial Canbeobtained period，thickness roughness by forthe oftheinterfacecurrentand reflectivityfitting．Butneglecting charges，the ofmeanrefractiveindexandthicknessratiowillhave errors． calculating