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金刚石薄膜粒子测器的研究.pdf
摘 要
金刚石的诸多优异性质使其成为一种能有效工作于高濑下的、能高速响应、
抗辐照能力强的宽禁带半学体探灏释毒孝籽，可替代疆应用于裰端环境。金剐石薄
膜探测器穗高能粒予物理、医学、榱技术，航天科技、军事和地震预报等多个领
域，具有广阔的应用前景。本文在阐顾该领域研究进展的基础上，就探测器级金
鼹《磊膜及冀微条掇测器的制器工艺和性能袭征开展了研究。
采用级外椭圆偏振光谱技术对微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法和
熬照纯学气裙滚积(HFCVD)法裁器茨金剐磊薄艨褒红，}波长范匿(2．5～12．5≯越)
的光学参数及其拟合模型进行了分析和研究。表明MPCVD金刚石薄膜更加适合
霜俸粒子撵溺器毒手精。藏辩，通过秘餐条{孛伉讫获彳薅了MPCVD法生长搽溅器缀
f100]定向愈刚石薄膜的最饿工艺条件。
金刚石薄膜的颥处理研究表赞，退火粕表面氧纯处理工艺可显麓提高薄膜质
量。在研究了薄膜接触特性的基础上，制罄了AW众剐石膜／SgAl结构的单元探
测器。X射线辐照响应测试结果表明，该探测器响应速度快，上升时间为3ns。
尉时磅究了衾嚣《石膜微结构对探测器电学饿能的影嚷。
宽疫弱闫簇筠为259in、CrAu受复合宅投匏徽条搽测器。测囊靼磷究了徽条搽测
a粒子(5．5MeV)、60Co
器在55FeX射线(5．9KeV)、241Am Y射线(1．25MeV)
辐照下的能谱晌威特往和激流一电蘧特往。研究袭疆，搽灞耩探溺效率平均值为
40％：平均电荷收集距离可达t209m，与理论值相近。对电流一电压特性峨线的
分析表明，在受辐照情况下电流大小提高了3个数量级。
关键词：金刚石薄膜，粒子探测器，化学气桐沉积
Abstract
excellent aneffective
Diamond，with kind
properties，is ofwideband
semiconductordetector
materialthatcanworkunder and
hightemperaturestrong
with
radiationa Cantakethe of
quick silicontobeusedunder
response．It place
extreme
circumstances．Diamondfilm
detectorshaveawide of in
rangeapplications
fields
differentashighenergyparticlephysics，medicine，nuclear
technology，space
and Baseson
technology，military
earthquakeforecasting，etcretrospections，this
dealswith
dissertation the diamondfilmandthe and
detector-grade techniques
diamondf
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