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钛及钛合金微弧氧化工艺研究 摘要 对钛及其合金进行微弧氧化处殚，不仅可以制备出耐磨、耐腐蚀的保护膜，应用到航 空、航天，电化学工业等领域，而且可望制备出能应用到牛物医疗、光催化、气敏传感器 和太阳能电池等许多领域的功能陶瓷膜。 本文利用脉冲微弧氧化设备对钛及其合金进行微弧氧化处理，丰要研究电解液州方利 电参数对形成微弧氧化陶瓷膜的影响，在此基础上添加Si02颗粒从而获得性能优异的复合 陶瓷膜并摸索获得彩色微弧氧化陶瓷膜的工艺。实验中通过调节微弧氧化过程中的工艺参 数(氧化时间，电解液浓度和电压)来改变所牛成陶瓷层的组织结构利表面形貌。x射线 衍射仪进行物相分析，扫描电镜观察表面形貌。研究结果表明： 1、采用脉冲电源微弧氧化法在Ti6A14V表面形成了一层致密均匀的氧化膜层；电解液浓 度、氧化时间恒定条件下，磷酸盐、硅酸盐电解液中，氧化膜厚度随电压川高两增加； 电压、电解液浓度恒定条件下，磷酸盐与硅酸盐电解液中，随着氧化时间延长，氧化 膜厚度增长经历由快到慢直至趋于平缓过程：电压、氧化时间恒定条件下，电解液浓 度对氧化膜厚度影响规律与氧化时间对氧化膜厚度影响相类似。 2、磷酸盐电解液在Ti6A14V表面微弧氧化的氧化膜层相组成为锐钛矿相、金红石相、板钛 矿相、13-TiO：及少量非晶。其中锐钛矿相所占比例相对较大。在电解液浓度为459／L和 80V， 相。电压为180V时的相组成为：锐钛矿相、金红石相和板钛矿相。在电压为1 氧化时间为526s的条件下，电解液浓度为559／L时的相组成为：锐钛矿相、金红石相 和13-Ti02相。电解液浓度为609／L时的相组成为：板钛矿相、锐钛矿相和金红石相。0 3、硅酸盐电解液在Ti6A14V表面微弧氧化的氧化膜层相组成为由非晶和n，Ti。 80～200V之f司。 化时间360s，电压为1 250V、电流17 A、试样面积4cm2、微弧氧化时间60S。此时制得膜层厚度为12um，粗 糙度为1．1lasn。 6、磷酸盐电解液中添加Si02后对纯钛表面微弧氧化过程没有影响。fu Si02加入后形成 复合陶瓷层。Si02的添加相对降低了锐钛矿相、金红石相在氧化膜层中的比例，而 3-Ti02相有所增加。 7、磷酸盐电解液中加入高锰酸钾后在纯钛表面着了一层均匀的棕色微弧氧化膜。其中电 压、高锰酸钾浓度、氧化时间等参数对着色影响很大；综合考虑这,rL叶-因素，最佳着 80V 色工艺为：磷酸二氢钠浓度509／L，高锰酸钾6∥L，微弧氧化时间60s，电压为I 之间。 关键词：钛合金，微弧氧化，陶瓷膜层，相组成，着色 Researchon ltiicroarcOxidationofTitaniumandTitanium J AI oy Absti-act Microarc oftitaniumaswellasits canfabricate Oxidation(MAO)techniquealIoy ceramic usedin variousfields coatings many including industry， medical sensor