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铁氧化物硅纳米柱阵列复合体系的湿敏特性研究.pdf
摘 要
微型化和智能化是现代传感器发展的趋势。将传统半导体传感材料纳米化
沉积在合适的衬底上，便可得到微型智能化传感元器件。铁氧化物是传统的气湿
敏传感材料，对水蒸气具有优越的传感性能；硅纳米孔柱阵列(Si．NPA)具有独
特的表面结构一微纳双重结构，该结构体系不仅使Si-NPA具有巨大的比表面积，
而且可以为气体的传输提供通道，此外，si还可以和集成电路技术相融合，所以
方法在其上沉积一层纳米铁氧化物，能够得到铁氧化物／Si—NPA复合湿敏材料，
然后测试该复合材料的湿敏性能。
围绕本研究课题，开展的实验工作及其结果如下：
1．采用微乳和水热相结合的技术，制备出了纯度高，分散性好，粒径可控的纳
米铁氧化物。
2．通过控制匀胶和退火的条件，得到薄膜层纯度高、附着均匀的铁氧化物
／Si-NPA复合材料，该复合体系基本保持了衬底材料独特的微纳双重结构。
元件进行湿敏测试，结果显示：Si-NPA对湿度的感应具有灵敏度高、响应时
间短的优点； Fe309Si．NPA湿敏元件具有电容电阻响应灵敏性高、输出电
敏元件具有很高的灵敏性，且电容对湿度显示很好的单值性。通过分析可得
材料的稳定性。
本论文设计的铁氧化物／Si．NPA湿敏元件不仅体积小、有利于智能化，而且
湿敏性能优越，拓宽了该类传感材料的研究；Si-NPA独特的表面结构有利于传
感器对气体的感应，可以推广作为更多传感元器件的衬底材料。
关键词：铁氧化物硅纳米孔柱阵列湿度传感器
Abstract
tobe andsubminiature
Sensorsare more
beingdeveloped intelligent presently
ofsensorscouldbeobtained somesensitive
Thiskind bydepositing
asilicon oxideis sensitiveto inthe
on very manygases
template．Iron
to a of
water；Silicon array(Si-NPA)hasspecialmorphology
nano—porous
structural onthe structure
micron／nanometer surface，Thisprovides
compositesystem
areatoSi-NPAbut tothe absorbedinthe
not surface ways gases
onlylarge passing
the couldbe with
on integrated typical
pores pillars．Besides，silicon compatibility
artsin itiscouldbeaexcellent for the
silicon device，SO template
ironoxide
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