先进ATHENA^TM选用策略与对准功能.pdfVIP

维普资讯 先进 ATHENA 选用策略与对准功能 程天风 ，JeroenHuijbregtse，RichardvanHaren，Andr6Jeunink (阿斯麦光刻设备公司。DeRunlll0，NL一5503LA，Veldhoven，TheNetherlands) 摘 要：基于先进科技对准规格的减缩 ，对准仪量测数据的应用也变得更为重要。不 同对准策略的 选择所引起的结果，对全部对准预算有很重要的影响。介绍两个主要科技研发项 目：先进对准配套 和对准标的设计。 关键词：对准系统；多组光栅标；化学机械抛光；晶圆对位 中图分类号：TN305．7 文献标识码：A 文章编号：1004—4507(2004)02-0028--08 OverlayPerformancewith AdvancedATHENAMT AligmnentStrategie