多軸影像伺服控制平台.pdf

軸影像伺服控制平台 張君勵 洪敏偉 黃國政 財團法人國家實驗研究院 財團法人國家實驗研究院 財團法人國家實驗研究院 儀器科技研究中心 儀器科技研究中心 儀器科技研究中心 hankchang@.tw niiat@.tw huangkc@.tw 摘要 傳統影像伺服系統多使用立體影像技術應用於機器人引導或目標物追蹤，已成功的應用於許多 領域中。然而對於產業應用而言 ，影像伺服系統除了定位精確度之外 ，系統的反應速度與建置成本 成為考慮重點之一。本文採用單一攝影機擷取二維影像並基於邊緣特徵的樣板比對方式作為控制系 統位置回授機制的核心，單一影像來源可 簡化分析程序 。基於上述技術發展出一套三軸影像伺服 系統，並配合UV Laser 進行LED Wafer 的劃線製程及進行 Wafer 不規則形狀切割為例 ，進行系統 驗證 。 關鍵字：樣板比對、邊緣特徵、影像伺服 壹、 前言 伺服運動控制在產業機器設備及機器人運動控制等領域扮演非常重要的精密驅動部份 。傳統控制理 論與及伺服驅動器的發展 ， 伺服馬達及位置感測元件為基礎的定位控制系統其精度與速度均可滿 足一般產業需求 ，並已廣泛的應用於機械加工 、自動化設備等領域。近年來由於半導體製程與光電 業的製程大幅精進 ，產品朝向輕 、薄、短小特性而製程朝向細微化的方向發展。製程中作為定位的 參考特徵或產品本身形狀特徵細微化 ，需要 這些特徵位為定位依據時 ，傳統的伺服定位控制已 法僅依賴控制系統精度進行特徵定位，面對此類問題 ，通常使用數位相機擷取定位標誌影像， 影 像處理方式分析出定位參考點並計算出伺服控制系統移動命令 ，達成適應定位特徵之變異的精密定 位伺服控制。 視覺伺服研究始於1970 年代 ，最初是將視覺系統所擷取影像進行影像處理運技術視為控制系統之 非接觸式位置量測機制，分析影像中目標物的位置， 此結果導引機械手臂運動 ，成為回授控制中 的一個單元 ，稱為視覺回授控制[1] 。就所使用的機器視覺技術而言可 區分為立體視覺技術與及單 攝影機二維視覺技術，前者多用於機器人視覺引導等領域，而後者則常用於產業機器的應用範疇。 而針對影像位置分析的方式亦可區分成兩大群 ，幾何型態分析定位方法與及樣板比對定方式。幾何 型態分析是根據樣板的型態特徵 灰階分布的性質特徵進行樣板位置萃取，適用於幾何形態簡單的 樣板，其結果容易受照明或其他雜訊影響 。其中樣板比對又可分為兩大類：灰階值特徵比對方式 、 特徵為基礎的比對方式[2] 。在產業應用實例中 ，使用影像伺服之領域甚多，尤其以半導體 、光電等 產業應用最廣泛。在光罩對準系統中，Mikawa 將常用之影像標記 ，針對不同影像處理技術的抗雜訊 與影像重疊等干擾因素進行分析 ，並比較光罩位置對準品質的差異[3] 。游提出LCD 板上的定位標記 進行影像擷取與位置偏移的分析 ，藉由型態濾波將標記雜訊去除， 避免過多的雜訊干擾 ，具有適 應多種形狀的標記計算能力及能克服標記重疊時 法計算的困擾[4] 。 邊緣特徵的樣板比對技術，使用具有幾何型態特徵的少數資料點建立 參考樣板 ，可以加速樣板比 對的時間 ，具備容忍照明變異對所影像灰階分佈所帶來的干擾 ，待測樣板局部被遮蔽亦可進行比對 搜尋 ，可 提供次像素精度，有效的改善系統精確度。 1 貳、 研究方法 一、邊緣特徵樣板比對方法[5] (一)使用Canny Filter 進行邊緣資訊的萃取 ，建 立邊緣特徵樣板資料 。其中邊緣強度與方向定 義 邊緣強度= Gx2 Gy2 (1) 1 Gx 邊緣方向= tan