157μm波段光学表面激光损伤阈值测试系统的研制.pdf

硕士论文 1．57岬波段光学表面激光损伤阈值测试系统的研制 摘 要 1．57岬人眼安全波段光学表面激光损伤阈值测试系统进行了研究和设计，并构建了能进 行自动测试的人眼安全波段光学表面激光损伤阈值测试系统。 根据测试技术指标的要求，对系统的光源激光器的参数进行了设计，从三波混频与 相位匹配的角度制定了光学OP0的工作过程，提出了采用外腔式的结构制作测试系统的 激光光源。采用伽利略望远系统式的结构实现对激光束的扩束、用三组八片式的吸收型 中性滤波片与步迸电机相结合的方式实现能量的衰减、基于荧光上转换材料的CCD摄 像头测量激光光束质量，成功实现了将直径6nm、大发散角的出射光束聚焦到了直径 百微米量级，能量变换级别loo档以上的标准，并能够实现光束质量的实时在线监测。 对实现光学表面激光损伤判定识别的不同方法进行了分析研究，并从装置自动化的 角度，提出采用激光散射、等离子体闪光以及计算机图像处理技术三种方法相结合的方 式实现光学表面损伤的判定，因而降低了人为误判的因素，提高了判定精度。在计算机 图像判定方法中，对判定的相应算法进行了研究，实验证明所涉及的几种算法均可实现 损伤判定。