精密超精密加工技术创新.ppt

第一节 概述 一、精密与超精密加工概念 随着现代工业的不断发展，精密加工和超精密加工在机械工业、轻工业、电子工业及国防等工业中已占有越来越重要的地位。精密加工是指在一定的发展时期，加工精度和表面质量达到较高程度的加工工艺。 超精密加工是指加工精度和表面质量达到最高程度的精密加工工艺。过去的超精密加工在今天来说就是精密加工或一般加工。 精密加工和超精密加工的界限将随着科学技术进步而逐步向前推移。 当前一般加工,加工精度在10μm左右,表面粗糙度Ra≤0.3~0.8μm的加工技术，如车、铣、刨、磨、镗、铰等。适用于汽车、拖拉机和 机床等产品的制造。 精密加工是指被加工零件的加工精度为1~0.1μm，表面粗糙度为Ra0.2~0.025μm的加工技术；如金刚镗、研磨、珩磨、超精加工、砂带磨削、镜面磨削和冷压加工等。适用于精密机床、精密测量仪器等产品中关键零件的加工，如精密丝杠、精密齿轮、精密蜗轮、精密导轨、精密轴承等。 正在向纳米级（10-2~10-3μm，1nm=10-3μm）的加工技术发展。 纳米加工技术是当前最精密的制造工艺，从物质加工精度的理论上分析，纳米工艺的加工方法（如离子溅射去除、镀膜和注入等）可以达到去除、附着或结合以原子或分子为单位的物质层，因此已经深入到物质内部结构，这往往已经是单纯常规加工所难以达到的了。 因此超精密加工技术是指该时代接近于加工极限的加工技术。 图2-