扩散泵的世纪回顾与发展.pdfVIP

第 卷第 期 45 1 Vol.45,No.1 真 空 VACUUM 年 月 2008 1 Jan.2008 扩散泵的世纪回顾与发展 1 1 1 1,2 杨乃恒 ,巴德纯 ,王晓冬 ,于治明 东北大学 辽宁 沈阳 沈阳航空工业学院 辽宁 沈阳 (1. , 110004;2. , 110034) 摘 要 本文叙述了盖得的发明专利,从初期的汞扩散泵到分馏油扩散泵的演变过程 。讨论了泵体 : 结构、喷咀型式、泵油性能和几个关键技术问题。现代油扩散泵的何 氏系数达 0.65以上,返油率达 -5 2· 功率抽气量可达 。最后对泵的性能、结构和应用前景作了展望。 10 mg/cm min,1kW 200PaL/s 关键词:扩散泵 何氏系数 气流量 ; ; 中图分类号: + 文献标识码: 文章编号码 : ( ) TB752.42;TB71 A 1002-0322200801-0001-16 Acenturialreviewondevelopmentofdiffusionpumps , , , YANGNai-heng BADe-chun WANGXiao-dong YUZhi-ming (1.NortheasternUniversity,Shenyang110004,China;2.ShenyangInstituteofAeronauticalEngineering, Shenyang110034,China) ’ Abstract:StatesGaedesinventionpatentandtheevolutionhistoryfrom theearlymercurydiffusionpump tooil fractionatingdiffusionpump.Discussestheconstructionofpumpcylinders,typeofnozzles,propertiesofoilusedandsomekey technologicalproblems.NowadaystheHocoefficientofoildiffusionpumpshascomeuptoover0.65,withoilback-streaming -5 2 · rate10 mg/cm minandthroughputofgas200PaL/secper1kW.Anoutlookisgiventotheperformance,constructionand applicationsofdiffusionpumps : Keywordsdiffusionpump;Hocoefficient;throughputofgas 古人云:温故而知新。继承、创新才能发展。 种泵就以扩散泵而闻名。据前苏联文献报道 : 因而回顾扩散泵近一个世纪的发展过程,对其改 1912年俄罗斯学者巴洛维克在彼得堡物理研究 进和发展是有重要意义的。尊重历史沿革 单位 所首先提出这种泵,而且在 年俄罗斯学者