多晶硅薄膜太阳能电池衬底材料和制备工艺.docVIP

多晶硅薄膜太阳能电池的衬底材料和制备工艺.txt明骚易躲，暗贱难防。佛祖曰：你俩就是大傻B！当白天又一次把黑夜按翻在床上的时候，太阳就出生了 本文由materialsyang贡献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 第 3 4卷 20 0 5年 增刊 I 6月 稀 有 金属 材 料 与工 程 RARE ET LM A M A . TE ALS ND NGI RI A E NEE NG RI Vl4Spl o. , p. 3 u l Jn 0 5 2 0 u e 多晶硅薄膜太阳能 电池的衬底材料和制备工艺 张立明 ,李海峰2 ,黄 勇,张厚兴 ,万之坚 , 2 , 2 ,许 颖3 ,王文静 ( 1 .清华人学 材料科学与工程系, 北京 1 0 ) 08 04 (.清华大学 深圳研究生 院,广东 深圳 585) 2 107 (.北京 市太 阳能研究所,北京 108) 3 003 摘 要 :研究 了太阳能电池的发展历程,详细介绍了多晶硅薄膜 太阳能电池 的各种工 艺,阐述 了在实际研究过程中沉 积大晶粒多晶硅薄膜的技术路线和」艺,并对多晶硅薄膜 太阳能电池 的研 究趋势做 了展望 _ 关键词:陶瓷衬底:多n硅薄膜 :太 阳能电