表面分析与性能检测..ppt

* X射线光电子图谱：纵坐标是相对强度，横坐标是结合能。这是以Mg为激发源得到 的Ag片的XPS谱图。图中有Ag3d3/2和Ag3d5/2光电子两个强特征峰。在图上的位置是。用于鉴别银。 表面灵敏度：样品深层产生的光电子在逸出表面的过程中会与样品原子发生非弹性碰撞而损失能量，只有表面或表面以下几个原子层中产生的光电子才会对XPS峰有贡献，所以XPS对表面分析的灵敏度很高。 * X射线光电子能谱仪通常由以下几部分组成： X射线激发源、样品台、电子能量分析器、检测器系统、超高真空系统等。 * 这就是X射线光电子能谱仪 * 下面看一个应用X射线光电子能谱对硅晶体表面薄膜进行的物相分析的例子，对对薄膜全扫描分析得下图，从图中可以看出含有Zn和S元素，但是化学态却不知道。 * 为得知Zn和S的存在形态，对Zn的最强峰（也就是上一幅图中的第二个峰）进行窄扫描，其峰位1022eV比纯Zn峰1021.4eV更高，说明Zn内层电子的结合能增加了，即Zn的价态变正，根据含有S元素并查文献中Zn的标准谱图，确定薄膜中Zn是以ZnS的形式存在的。 * 下面讲一下涂层的物理及力学性能检测。 首先是厚度的测定。厚度测定分为局部厚度和品均后的检测。而按照是否破坏试样可以分为无损检测和破坏性检测。下面就简单讲一下用超声波厚度测试仪和金相显微镜进行厚度检测。 * 利用厚度测试仪可以对生产设备中各种管道和压力容器