硅基微型直接甲醇燃料电池的研究.pdfVIP

第 26 卷 　第 7 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 26 　No . 7 2005 年 7 月 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S J uly ,2005 硅基微型直接甲醇燃料电池的研究 王晓红 　谢克文 　姜英琪 　钟凌燕 　刘理天 (清华大学微电子学研究所 , 北京 　100084) ( ) 摘要 : 设计了一种基于 M EM S 技术的硅基微型直接甲醇燃料电池 DM FC ,采用流体力学软件进行了DM FC 三 维阳极模型的模拟 ,利用 MEMS 加工技术和 PDMS 封装工艺实现了这种燃料 电池 ,并在室温下对有效面积为 μ μ 8600 m ×8600 m 的电池样品进行了性能测试. 测试得到该 DMFC 的开路输出电压为 05V ,短路工作电流密度达到 2 2 78 1mA/ cm ,最大输出功率密度为 386mW/ cm . 主要参数已达到了一些电子器件的要求 ,具有一定的实用价值. 关键词 : 硅基微型燃料电池 ; 直接甲醇燃料电池 ; PDM S ; M EM S EEACC : 2575 ; 0580 ; 84 10 G 中图分类号 : TN 30405 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 02534 177 (2005) 国、德国、日本 、韩国等研究机构都有相应的成果发 1 　引言 布[ 1～8 ] . 最近 ,美国 U CL A 大学与宾夕法尼亚州立 大学联合研制的微型 DM FC[ 5 ] 的测试结果很好 ,常 微型能源系统在未来电子科学技术中将起着至 温下该电池的最大输出功率为 1427mW/ cm2 , 其 关重要 的作用 , 一方面 , 未来 的集成微系统芯片 结果具有一定的实用价值. 本文设计了一种微型三 ( sy st em on chip ) 将包含敏感 、计算 、执行 、控制 、通 明治结构的 DM FC ,在对三维 DM FC 模拟的基础 信等多种功能 ,这样的系统中微型能源无疑是重要 上 ,优化 了设计 参数 , 利 用 M EM S 加 工技 术和 单元 ;另一方面 ,随着现代通信技术的高速发展 ,可 ( ) PDM S polydimet hy silo xane ,聚二甲基硅氧烷 封装 ( 移动电子产品 如手机 、笔记本电脑 、便携式摄像机 、 工艺在硅片上实现了这种微型 DM FC ,并完成了常 ) PDA 等 对高能量密度 电池的要求也愈来愈高 ,传 温条件下电池的性能测试. 统电池将不能满足现实需要. 基于 M EM S 技术的微 ( 型直接 甲醇燃料 电池 direct